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陶瓷拋光盤廣泛用于半導(dǎo)體、LED晶圓的拋光、減薄工藝，適合半導(dǎo)體硅片、砷化鎵、藍(lán)寶石襯底、碳化硅襯底的拋光、減薄加工。超高的表面精度可以滿足各類精密加工的要求，尤其是獨特的高精度凸或凹的瓷盤表面，可以滿足大尺寸產(chǎn)品的
拋光需要。
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