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BRAVERY 3000

光調(diào)制反射晶圓檢測(cè)系統(tǒng)

BRAVERY 3000 是具有巨大市場(chǎng)價(jià)值的新型晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備，其采用光調(diào)制反射技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的非接觸、無損傷、在線、快速、內(nèi)部檢測(cè)，精準(zhǔn)診斷與定位晶圓缺陷，該產(chǎn)品對(duì)有/無圖案晶圓均適用，可填補(bǔ)當(dāng)前國內(nèi)市場(chǎng)離子注入工藝非接觸檢測(cè)設(shè)備的國產(chǎn)化空白，實(shí)現(xiàn)晶圓注入質(zhì)量特性檢測(cè)量產(chǎn)化。

產(chǎn)品特點(diǎn)

非接觸非破壞性

有/無圖案晶圓皆適用

可作為在線檢測(cè)設(shè)備

無需測(cè)前與測(cè)后處理，超快檢測(cè)速度

軟件檢測(cè)操作簡(jiǎn)單

主要應(yīng)用

各種離子注入及退火工藝的質(zhì)量監(jiān)控

刻蝕等工藝對(duì)晶圓損傷的質(zhì)量監(jiān)控

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

自研產(chǎn)品，可定制化

可自動(dòng)生成wafer map等可視化數(shù)據(jù)