參考價(jià)格
面議型號(hào)
HJT吸雜爐品牌
賽瑞達(dá)產(chǎn)地
江蘇樣本
暫無(wú)金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
-最高溫度：
-額定溫度：
-非金屬電熱元件：
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主要特點(diǎn)
◆產(chǎn)能:>25000pcs/h;4800~5280pcs/管(105*210mm)
◆管數(shù):6管
◆壓力控制:APC控制方式
◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機(jī)
◆通訊:Melsec,MES.I/O,SECS-II等
◆自動(dòng)化集成:用于客戶(hù)優(yōu)化和MES控制集成的全自動(dòng)化解決方案
工藝規(guī)范
◆方阻值:30~60Ω/cmsq
◆極限真空:≤20mbar
◆方阻均勻性:<5%(片內(nèi)/片間/批間)
硬件規(guī)格
◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度:2800mm
◆溫區(qū)數(shù)量:6個(gè)溫區(qū)
◆**溫度:950℃
◆溫度均勻性:800℃~950℃±0.5℃
◆晶圓裝載法:碳化硅懸臂槳
◆槳的**承重量:100kg
◆工藝腔和舟的材質(zhì):石英管&碳化硅舟托獨(dú)立磷源柜，便于更換源瓶
優(yōu)點(diǎn)
◆快速的工藝認(rèn)證，可以極高的提升生產(chǎn)
◆工藝過(guò)程中APC良好的控制工藝管壓力
◆使用SiC槳使加載區(qū)穩(wěn)定，SiC舟托使用壽命更長(zhǎng)
◆更大的正常運(yùn)行時(shí)間和更低的成本，良好的技術(shù)支持和服務(wù)，確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定使用
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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