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立式擴(kuò)散爐品牌
賽瑞達(dá)產(chǎn)地
江蘇樣本
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超大規(guī)模集成電路制造設(shè)備，工藝時(shí)間短，生產(chǎn)效率高，具有出色的工藝性能達(dá)到**。
應(yīng)用領(lǐng)域
◎ VLSI集成電路制造
產(chǎn)品優(yōu)勢
◎晶片(片/批次)150片
◎ 晶片高速搬送系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高吞吐量
◎ 精密的熱場控制，氣體控制系統(tǒng)
◎ 工藝周期短，生產(chǎn)效率高
外形尺寸及重量
◎ 外形尺寸(參考):4330mm*900mm*3305 mm(長*寬*高)
◎ 重量:2500Kg
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