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采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米級(jí)物鏡掃描臺(tái)，內(nèi)部使用無(wú)摩擦及空回的柔性較鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，確保了掃描臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。掃描臺(tái)內(nèi)置精移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。掃描臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。聚焦行程可達(dá)100微米。分體的螺紋適配器，可適配多種型號(hào)的物鏡。
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