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GC-SELA812 半導體硅片雙面研磨機
GC-SELA812 半導體硅片雙面研磨機

參考價格

面議

型號

GC-SELA812 半導體硅片雙面研磨機

品牌

高測科技

產(chǎn)地

山東

樣本

暫無
青島高測科技股份有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 粉碎程度:

    其他
  • 單位能耗:

    -
  • 產(chǎn)量:

    -
  • 裝機功率(kw):

    -
  • 成品細度:

    -
  • 入料粒度(mm):

    -
  • 工作原理:

    其他
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GC-SELA812

半導體硅片雙面研磨機

所屬分類:

半導體切割設備

概要描述:

該產(chǎn)品用于半導體硅片的雙面研磨,一盤可放置35片8寸或15片12寸硅片。采用液體靜壓轉(zhuǎn)臺具有承載能力強、功率損耗小、使用壽命長等優(yōu)點,且其潤滑介質(zhì)具有阻尼減振和誤差“均化”作用,精度高且保持性好。

產(chǎn)品參數(shù)

1.機械部分

設備主機尺寸

約3200(L)x2950(W)x4250(H)mm

設備占地面積

約6000(L)x5500(W)mm

設備重量

約 28000kg

2.加工硅片規(guī)格、數(shù)量、精度

硅片尺寸

8寸,12寸

數(shù)量

8寸

35片/盤

12寸

15片/盤

3.技術參數(shù) 

下盤

下盤尺寸

Φ1870mm×Φ650mm×70mm

下盤轉(zhuǎn)速

3-40RPM

上盤

上盤尺寸

Φ1870mm×Φ650mm×60mm

上盤轉(zhuǎn)速

3-13RPM

太陽輪

轉(zhuǎn)速

3-30RPM

外齒圈

轉(zhuǎn)速

3-30RPM

3-30RPM

上盤升降行程

550mm

4.氣源

使用壓縮空氣

干燥空氣

氣路元件需用氣壓(MPa)

0.4~0.6


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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