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純化系列 | 脫除雜質ppb | |||||||
氣體 | 型號 | 純化工藝 | H2O | CO2 | 揮發(fā)性酸VA | 揮發(fā)性堿VB | 耐熔化合物RC | 總有機碳TOC |
XCDA | PX | 吸附 (Absorb) | <0.1 ppb | － | <10ppt | <10ppt | <10ppt | <10ppt |
應用領域：
純化用于半導體應用的XCDA
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