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SCG300系列半導(dǎo)體級(jí)單晶硅爐品牌
南京晶升產(chǎn)地
江蘇樣本
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◆ 設(shè)備具有高穩(wěn)定性、高真空度、高可靠性的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；
◆ 配備自主研發(fā)的功率控制、鎖拉速等生長(zhǎng)控制算法；
◆ 熱場(chǎng)系統(tǒng)具有高水平微缺陷控制能力；
◆ 配合水冷套、超導(dǎo)磁場(chǎng)及基礎(chǔ)工藝包；
◆ 生長(zhǎng)晶體可滿(mǎn)足COP-FREE硅片指標(biāo)要求。
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