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在單晶爐熱場中,現(xiàn)在大多采用的是等靜壓石墨來制造熱場,因此熱場又可以被稱之為石墨熱場。
在石墨熱場中石墨部件有石墨坩堝、石墨加熱器、石墨托桿、石墨內(nèi)、外導流筒、石墨螺栓等石墨組件,其中石墨坩堝為了節(jié)約成本,方便安裝一般被打造成三瓣鍋或者兩瓣鍋。
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