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單縱模紫外納秒固體激光器IXION-193
IXION-193是單頻二極管泵浦全固態(tài)激光器。用于光學計量、高功率ArF準分子激光器的帶寬控制和193nm波長的步進校準。光譜帶寬接近理論傅立葉變換極限。中心波長以0.01nm的精確度從190nm到194nm范圍可選。系統可選內置高精度光譜儀，精確度可達1pm以保證對激光器調諧的**控制。
單縱模紫外納秒固體激光器IXION-193典型參數
型 號 | IXION-193 SLM |
波 長 | 193.368 nm |
平均功率 | >10 mW |
脈 寬 | < 10 ns |
脈沖能量 | >1.6 μJ |
重復頻率 | 6 kHz |
M2 因子 | < 1.6 |
線 寬 | <120MHz;0.015pm; 0.004cm-1 |
調諧范圍 | >80GHz;10pm;2.6cm-1 |
相干長度 | >1 m |
單縱模紫外納秒固體激光器IXION-193特點· 工業(yè)級的頻率轉換，密封封裝· 插槽安裝激光二極管泵浦· 優(yōu)異的TEM00光束形貌· 脈沖到脈沖之間波動小· 免維護與熱電溫控管理· LabVIEW驅動· 內置光譜儀用于波長實時控制單縱模紫外納秒固體激光器IXION-193應用· 193 nm波長計量· 光譜儀校準· 干涉測量· 準分子激光器的種子注入脈沖寬度光譜帶寬長時間功率穩(wěn)定性光束質量
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