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Quantus LP100低壓氣體光譜分析儀
Quantus LP100低壓氣體光譜分析儀

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美國

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特征概覽:

  • 等離子體頻率400M Hz， 光波長范圍：190-890 納米
  • 易更換等離子體組件，低的運行維護費
  • KF25 標準連接口
  • 良好的探測精度至ppm級
  • 寬工作壓力范圍：10毫乇至1乇，無需泵組
  • 快速采樣頻率24赫茲
  • 小巧，易安裝

應用：

  • 用于半導體，平板顯示器及太陽能等行業(yè)PVD，CVD及刻蝕腔體檢漏，氣體組份比率及等離子體刻蝕終點探測（Endpoint）。
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