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Quantus LP100低壓氣體光譜分析儀
Quantus LP100低壓氣體光譜分析儀

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產(chǎn)地

美國

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英??担◤V州)真空儀器有限公司

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特征概覽:

  • 等離子體頻率400M Hz, 光波長范圍:190-890 納米
  • 易更換等離子體組件,低的運行維護費
  • KF25 標(biāo)準(zhǔn)連接口
  • 良好的探測精度至ppm級
  • 寬工作壓力范圍:10毫乇至1乇,無需泵組
  • 快速采樣頻率24赫茲
  • 小巧,易安裝

應(yīng)用:

  • 用于半導(dǎo)體,平板顯示器及太陽能等行業(yè)PVD,CVD及刻蝕腔體檢漏,氣體組份比率及等離子體刻蝕終點探測(Endpoint)。
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售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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