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Transpector CPM氣體分析系統(tǒng)
Transpector CPM氣體分析系統(tǒng)

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美國

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英??担◤V州)真空儀器有限公司

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特征概覽:

  • 用于監(jiān)測復雜工藝制程四極質(zhì)譜分析儀系統(tǒng),檢測范圍:0-100,0-200和0-300amu
  • 允許7天24小時連續(xù)監(jiān)控,提高產(chǎn)品良率及產(chǎn)能,降低生產(chǎn)成本
  • 緊湊型設(shè)計可安裝于每個高壓強真空系統(tǒng)
  • HexBlock TM 取樣系統(tǒng)使系統(tǒng)性能**化
  • 內(nèi)置壓力傳感器(CDG),用于工藝壓強監(jiān)測和提供聯(lián)鎖保護
  • 備用可選的標準氣體,用于調(diào)諧和校正
  • 封閉式離子源可阻擋腐蝕性氣體和反應(yīng)性氣體,并可檢測ppm量級的污染物
  • 重量輕,易搬運

應(yīng)用:

  • 高壓強真空系統(tǒng)(< 2個大氣壓)檢漏,氣體純度,污染檢測,工藝制程監(jiān)控及刻蝕終點探測 (Endpoint),涉及領(lǐng)域:材料,傳統(tǒng)高壓強真空系統(tǒng),半導體,平板顯示器及太陽能等行業(yè)PVD,CVD及刻蝕系統(tǒng)
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性價比

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