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儀器簡(jiǎn)介：

技術(shù)參數(shù)：

1、射頻發(fā)生器-標(biāo)準(zhǔn)配置、復(fù)合D級(jí)標(biāo)準(zhǔn)、穩(wěn)定性高、濺射束斑極為平坦、等離子體穩(wěn)定時(shí)間極短，表面信息無(wú)任何失真。

2、脈沖工作模式既可以分析常規(guī)的涂/鍍層和薄膜，也可以很好地分析熱導(dǎo)性能差和熱易碎的涂/鍍層和薄膜。

3、Polyscan多道（同時(shí)）光譜儀可全譜覆蓋，光譜范圍從110nm~800nm，可測(cè)試遠(yuǎn)紫外元素C、H、O、N和Cl。

4、HORIBA的原版離子刻蝕全息光柵保證了儀器擁有**的光通量，因而擁有**的光效率和靈敏度。

5、高動(dòng)態(tài)檢測(cè)器（HDD）可快速、高靈敏的檢測(cè)ppm-100%含量的元素。動(dòng)態(tài)范圍為5 x 10¹⁰。

6、寬大的樣品室方便各類樣品的加載。

7、功能強(qiáng)大的Quantum軟件可以靈活方便的輸出各種格式的檢測(cè)報(bào)告。

8、HORIBA獨(dú)有的單色儀（選配）可極大地提高儀器靈活性，可實(shí)現(xiàn)固定通道外任意一個(gè)元素的同步測(cè)試，稱為n+1。

9、適用于ISO14707和16962標(biāo)準(zhǔn)。