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高效型CL光譜儀HCLUE
高效型CL光譜儀HCLUE

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天津東方科捷科技有限公司

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儀器簡介:電子束入射到樣品上,即可用光學方法接收并分析陰極發(fā)光(CL),從而提供樣品詳細的物理特性。它是一種無損的分析方法,結(jié)合電鏡可提供與形貌相關(guān)的高空間分辨率光譜結(jié)果,是納米結(jié)構(gòu)和體材料的獨特分析工具。

HCLUE是一款基于反射鏡耦合優(yōu)化的CL系統(tǒng),結(jié)合了Jobin Yvon光譜技術(shù)制造的光譜儀模塊,具有高靈敏度性能,適用于弱信號測量。可同時配備兩個探測器,以獲得更大光譜范圍。

原理圖主要特點:反射鏡直接耦合

高靈敏度

掃描成像、線掃描、點測量

多種光柵選項

多種焦長光譜儀選項:320mm-550mm

可配雙探測器以獲得**光譜范圍:185nm-2500nm

重點應用領域: 陰極發(fā)光光譜儀(CL)是用來表征材料中的缺陷,元素和雜質(zhì)追蹤的強大分析工具,廣泛適用于各個應用領域。

1、材料科學

半導體和光電材料

介電/陶瓷

氧化物膜

玻璃

2、礦物、地質(zhì)

碳酸巖

晶體

金剛石

鋯石、方解石、白云石

3、生命科學

4、公安

CL光譜及成像:

■CL光譜:使用CL測量光譜時,可在電鏡下觀察并選擇待測樣品區(qū)域。■快速CL成像:將掃描電子束與您的光譜儀同步,提供快速成像方案。使用HCLUE系統(tǒng)測量的GaN樣品,測量中使用了超快SWIFTTM成像模式。

礦物樣品中的白云石和磷酸鈣。測量使用Flex-CLUE系統(tǒng),配備iHR320光譜儀和開放電極式CCD探測器。感謝Prof A. Jambon, UPMC France提供數(shù)據(jù)

左圖:使用偽彩色顯示350nm-450nm之間發(fā)射光譜區(qū)。figure 1, Hyperspectral CL mapping

中圖:電鏡下的樣品圖像。figure 2, SE image

右圖:對應的光譜,其中不同色彩區(qū)域與左圖中顯示的顏色對應。figure 3, CL spectral (RGB)

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