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等離子體分析飛行時(shí)間質(zhì)譜儀PP-TOFMS
等離子體分析飛行時(shí)間質(zhì)譜儀PP-TOFMS

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天津東方科捷科技有限公司

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原理:

等離子體等離子體分析飛行時(shí)間質(zhì)譜儀是一個(gè)全新的儀器,它結(jié)合了GD等離子體的濺射速度和飛行時(shí)間質(zhì)譜的靈敏度,實(shí)現(xiàn)了高分辨率和高靈敏度條件下固體材料的快速化學(xué)深度剖析。

重點(diǎn)應(yīng)用領(lǐng)域:

摻雜分析(半導(dǎo)體、光電子、太陽(yáng)能光伏、傳感器、固態(tài)光源)

表面和整體污染鑒定(PVD鍍層、摩擦層、)

腐蝕科學(xué)和技術(shù)(示蹤物、標(biāo)記監(jiān)測(cè)、同位素分析)

界面監(jiān)測(cè)

參數(shù):

采集速率:每30μs一張全質(zhì)譜

質(zhì)量分辨率:選擇高分辨率模式時(shí),在m/z208可達(dá)5000

動(dòng)態(tài)范圍:107

質(zhì)量準(zhǔn)確度40ppm

靈敏度:103cps/ppm

深度分辨率:nm

正負(fù)離子模式

4個(gè)離子的靈活消隱功能

簡(jiǎn)單易用的水平樣品裝載

產(chǎn)品特點(diǎn):

樣品分析快速無(wú)預(yù)處理:無(wú)需超高壓腔

適用于各種材料及鍍層分析

全質(zhì)量覆蓋:可提供從H到U元素的完整質(zhì)譜和分子信息,包括同位素監(jiān)測(cè)

獨(dú)有3D數(shù)據(jù) ,脈沖射頻模式(**)

高深度分辨率:測(cè)試薄層可至1nm到厚層:厚層可達(dá)100μm

無(wú)需校準(zhǔn)的半定量分析:濺射和電離過(guò)程分離,使得基體效應(yīng)*小化

原理圖:

應(yīng)用實(shí)例:

富含O18氧化鉭的同位素分析

Si PV的雜質(zhì)識(shí)別

Si中B的定量摻雜

InGaN中Mg的定量分析

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
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