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AFM5300E是一款環(huán)境型原子力顯微鏡，它的環(huán)境控制單元可以使樣品在大氣中、真空中、溶液中等環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量。AFM5300E還具有高低溫控制功能，可以檢測(cè)溫度對(duì)樣品表面形貌和物理特性的影響。

·特點(diǎn)

1. 環(huán)境控制功能（大氣，真空，液體，溫控等）

AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測(cè)試環(huán)境，**限度減小樣品表面吸附水對(duì)測(cè)試的影響，實(shí)現(xiàn)精確的物理特性測(cè)量。 真空環(huán)境下可以實(shí)現(xiàn)更大范圍的溫度控制。另外，新開發(fā)的『溫度掃描功能』可監(jiān)視樣品Z方向的熱脹冷縮，通過控制反饋信號(hào)，使懸臂在變溫環(huán)境下連續(xù)測(cè)試樣品表面的物理特性。

（**3857581號(hào)、**3926638號(hào)）

●大氣中　●液體中　●真空中　●特殊氣氛（流量控制）

●溫度控制 加熱?冷卻(-120～300℃)　高溫(室溫～800℃)

●濕度控制(0～80%)

●外加磁場(chǎng)（水平、垂直、面內(nèi)旋轉(zhuǎn)、max 5000 Oe ）

2. 簡便操作（綜合型Holder Flange）

通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時(shí)，免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調(diào)整。 也省去測(cè)試模式切換時(shí)的支架更換環(huán)節(jié)。

3. **的高性能

采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動(dòng)，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。 漂移量：0.015nm/sec以下

4. 通過減輕表面吸附水的影響，提高了電氣性能的檢測(cè)精度

真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實(shí)現(xiàn)高分辨高靈敏的電學(xué)性能分析。