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EM12-PV精致型多入射角激光橢偏儀(光伏專用)
EM12-PV精致型多入射角激光橢偏儀(光伏專用)

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北京賽凡光電儀器有限公司

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EM12是采用先進(jìn)的測(cè)量技術(shù),針對(duì)中端精度需求的光伏太陽(yáng)能電池研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的精致型多入射角激光橢偏儀。

EM12-PV用于測(cè)量絨面單晶硅或多晶硅太陽(yáng)電池表面減反膜的厚度以及在632.8nm下的折射率n。也可測(cè)量光滑平面材料上的單層或多層納米薄膜的膜層厚度,以及在632.8nm下折射率n和消光系數(shù)k。

EM12-PV融合多項(xiàng)量拓科技**技術(shù),采用一體化樣品臺(tái)技術(shù),兼容測(cè)量單晶和多晶太陽(yáng)電池樣品。一鍵式多線程操作軟件,使得儀器操作簡(jiǎn)單安全。

特點(diǎn):

  • 粗糙絨面納米薄膜的測(cè)量

    先進(jìn)的光能量增強(qiáng)技術(shù)、低噪聲的探測(cè)器件以及高信噪比的微弱信號(hào)處理方法,實(shí)現(xiàn)了對(duì)粗糙表面散射為主和極低反射率為特征的絨面太陽(yáng)電池表面納米鍍層的檢測(cè)。
  • 次納米量級(jí)的高靈敏度和準(zhǔn)確度

    國(guó)際先進(jìn)的采樣方法、穩(wěn)定的核心器件、高質(zhì)量的制造工藝實(shí)現(xiàn)并保證了高準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性,測(cè)量絨面減反膜的厚度精度優(yōu)于0.2nm。
  • 1.6秒的快速測(cè)量

    國(guó)際水準(zhǔn)的儀器設(shè)計(jì),在保證極高精度和準(zhǔn)確度的同時(shí),可在1.6秒內(nèi)快速完成一次測(cè)量,可滿足快速多點(diǎn)檢測(cè)和批量檢測(cè)需求。
  • 簡(jiǎn)單方便安全的儀器操作

    一鍵式操作設(shè)計(jì),用戶只需一個(gè)按鈕即可完成復(fù)雜的材料測(cè)量和分析過(guò)程,數(shù)據(jù)一鍵導(dǎo)出,豐富的模型庫(kù)和材料庫(kù)也同時(shí)方便了用戶的高級(jí)操作需求。

應(yīng)用:

  • EM12-PV適合于光伏領(lǐng)域中端精度要求的工藝研發(fā)和生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的質(zhì)量控制。
  • EM12-PV可用于測(cè)量絨面單晶硅或多晶硅太陽(yáng)電池表面上單層減反膜的厚度以及在632.8nm下的折射率n,典型納米膜層包括SiNx,ITO,TiO2,SiO2,A12O3,HfO2等,應(yīng)用領(lǐng)域包括晶體硅太陽(yáng)電池、薄膜太陽(yáng)電池等。
  • EM12-PV也可用于測(cè)量光滑平面基底上的單層或雙層納米薄膜,包括膜層的厚度,以及在632.8nm下的折射率n和消光系數(shù)k。也可用于測(cè)量塊狀材料(包括,液體、金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)等)在632.8nm下的折射率n和消光系數(shù)k。應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體、微電子、平板顯示等。

技術(shù)指標(biāo):

項(xiàng)目技術(shù)指標(biāo)
儀器型號(hào) EM12-PV
激光波長(zhǎng) 632.8nm (He-Ne Laser)
膜厚測(cè)量重復(fù)性(1) 0.2nm (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)
0.2nm (對(duì)于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層)
折射率精度(1) 2x10-3 (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)
2x10-3 (對(duì)于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層)
單次測(cè)量時(shí)間 與測(cè)量設(shè)置相關(guān),典型1.6s
光學(xué)結(jié)構(gòu) PSCA(Δ在0°或180°附近時(shí)也具有極高的準(zhǔn)確度)
激光光束直徑 1-2mm
入射角度 40°-90°可手動(dòng)調(diào)節(jié),步進(jìn)5°
樣品方位調(diào)整 一體化樣品臺(tái)輕松變換可測(cè)量單晶或多晶樣品
可測(cè)量156*156mm電池樣品上每個(gè)點(diǎn)
Z軸高度調(diào)節(jié):±6.5mm
二維俯仰調(diào)節(jié):±4°
樣品對(duì)準(zhǔn):光學(xué)自準(zhǔn)直顯微和望遠(yuǎn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
樣品臺(tái)尺寸 平面樣品直徑可達(dá)Φ170mm
兼容125*125mm和156*156mm的太陽(yáng)能電池樣品
**的膜層厚度范圍 粗糙表面樣品:與絨面物理結(jié)構(gòu)及材料性質(zhì)相關(guān)
光滑平面樣品:透明薄膜可達(dá)4um,吸收薄膜與材料性質(zhì)相關(guān)
**外形尺寸 887 x 332 x 552mm (入射角為90º時(shí))
儀器重量(凈重) 25Kg
選配件 水平XY軸調(diào)節(jié)平移臺(tái)
真空吸附泵
軟件 ETEM軟件:
  • 中英文界面可選
  • 太陽(yáng)能電池樣品預(yù)設(shè)項(xiàng)目供快捷操作使用
  • 單角度測(cè)量/多角度測(cè)量操作和數(shù)據(jù)擬合
  • 方便的數(shù)據(jù)顯示、編輯和輸出
  • 豐富的模型和材料數(shù)據(jù)庫(kù)支持
注:(1)測(cè)量重復(fù)性:是指對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品上同一點(diǎn)、同一條件下連續(xù)測(cè)量25次所計(jì)算的標(biāo)準(zhǔn)差。

性能保證:

  • 穩(wěn)定的He-Ne激光光源、先進(jìn)的采樣方法以及低噪聲探測(cè)技術(shù),保證了穩(wěn)定性和準(zhǔn)確度
  • 一體化樣品臺(tái)技術(shù),兼容單晶和多晶硅太陽(yáng)電池樣品,輕松變換可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確測(cè)量
  • 高精度的光學(xué)自準(zhǔn)直顯微和望遠(yuǎn)系統(tǒng),保證了快速、高精度的樣品方位對(duì)準(zhǔn)
  • 新型樣品調(diào)節(jié)技術(shù),有效提高樣品定位精度,并節(jié)省操作時(shí)間
  • 新型光電增強(qiáng)技術(shù)和獨(dú)特的噪聲處理方法,顯著降低生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)噪聲的影響
  • 一體化集成式儀器整體設(shè)計(jì),保證了系統(tǒng)穩(wěn)定性,并節(jié)省空間
  • 分立式的多入射角選擇,可應(yīng)用于復(fù)雜樣品的折射率和**厚度的測(cè)量
  • 一鍵式軟件設(shè)計(jì)以及豐富的物理模型庫(kù)和材料數(shù)據(jù)庫(kù),方便用戶使用
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