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• NX20型原子力顯微鏡簡介：

  NX20型原子力顯微鏡是韓國PARK原子力顯微鏡公司功能*強大的工業(yè)級大尺寸原子力顯微鏡，這是一款全自動的原子力顯微鏡系統(tǒng)，**掃描范圍達300mm*300mm，掃描分辨率0.02nm，集成了PARK公司**技術(shù)“非接觸式工作模式”“智能掃描模式”“基于壓電陶瓷堆積技術(shù)的平板掃描器”，并標配快速掃描模式，變速掃描模式，多種測量模式可選，NX20型原子力顯微鏡被廣泛用于半導(dǎo)體，LCD，LED，OLED，硬盤等工業(yè)領(lǐng)域。

• NX20型原子力顯微鏡技術(shù)特色：

  1）采用非接觸式工作模式：

  PARK公司是目前全球**一家真正實現(xiàn)非接觸測量模式的原子力顯微鏡廠家，在不影響測量精度的前提下，可實現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測量，避免了由于針尖磨損帶來測量重復(fù)性差與探針磨損快的缺點。

  下圖是測量CrN樣品的實例，CrN樣品的硬度很高，具有三角形結(jié)構(gòu)，采用非接觸模式測量100幅圖后，圖像質(zhì)量幾乎無變化，針尖幾乎無磨損！??！

2）探測器噪聲水平為全球業(yè)界*低：0.02nm

Z軸探測器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術(shù)改進之一，它是Park**的新型應(yīng)變傳感器，憑借著0.2埃的超低噪聲，它一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲*低的Z軸探測器，檢測原子臺階及其容易。

3）采用全球**性能平板掃描器：采用**技術(shù)得三軸分離的平板掃描器，在整個80μm的掃描范圍內(nèi)誤差＜1nm !!!!

4）操作極其簡單：

- 具有“智能掃描模式”Smart scan：這是PARK公司的**技術(shù)之一，用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍，系統(tǒng)即可自動調(diào)整反饋，無需尋找共振峰，無需調(diào)整反饋參數(shù)gain值

- 具有中文，英文等多種操作界面

- 憑借著我們先進的預(yù)準直懸臂架，懸臂在裝載時激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同軸視角（行業(yè)****）讓您可以輕松地找到激光光點。由于激光垂直照射在懸臂上，您可以憑直覺旋動兩個定位旋鈕，將激光光點隨著X軸和Y軸移動。這樣，您可以在激光準直界面中，輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時，您只需要稍作調(diào)整實現(xiàn)信號的**化，便可開始獲取數(shù)據(jù)。

5）具有全球*廣泛的原子力顯微鏡模式：

6）工業(yè)級別的XEA軟件：具有自動識別，自動掃描，自動分析功能，大大節(jié)約了人工操作的誤差及浪費的時間。

7）導(dǎo)電原子力顯微鏡：

Park導(dǎo)電原子力顯微鏡在市場中競爭力*強，不但有著全行業(yè)*低的電流噪聲，且增益范圍也是**，并且可實現(xiàn)電流快速掃描功能，是半導(dǎo)體測試電流的標準。

- 業(yè)內(nèi)*低的電流噪聲(50fA)

- 業(yè)內(nèi)**的電流(10mA)

• NX20型原子力顯微鏡主要技術(shù)參數(shù)：

  - XY閉環(huán)掃描范圍大：達100μm*100μm

- Z向閉環(huán)掃描范圍大：達15μm

- 超高的測量分辨率：可達0.02nm

- 全自動掃描范圍：150mm*150mm（200mm*200mm，300mm*300mm）

- 具有快速掃描功能：**達100Hz

• NX20型原子力顯微鏡部分測試實例：