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2-歐米伽法納米薄膜熱導(dǎo)測(cè)試系統(tǒng) TCN-2ω
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技術(shù)特點(diǎn)：
這種獨(dú)特的儀器采用熱反射法測(cè)定納米薄膜樣品的交叉平面的熱傳導(dǎo)性；是世界上**的商品化納米薄膜裝置。主要應(yīng)用在半導(dǎo)體器件的熱設(shè)計(jì)中，需要測(cè)量低k絕緣膜、有機(jī)薄膜、半導(dǎo)體薄膜的熱阻。研發(fā)絕緣薄膜和提高熱輻射。
能夠測(cè)量形成在基板上的20至1000納米薄膜的法線方向熱導(dǎo)率
使用熱反射方法，通過溫度振幅測(cè)量導(dǎo)熱參數(shù)
樣品制備簡(jiǎn)單
TCN-2ω | |
溫度范圍 | 室溫 |
樣品尺寸 | 20-1000nm（厚度）（沉積10mm*20mm基板；基板厚度0.5-1mm） |
測(cè)量氣氛 | 真空 |
暫無數(shù)據(jù)！
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