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奧林巴斯進口MX61/MX61L工業(yè)檢測金相顯微鏡
奧林巴斯進口MX61/MX61L工業(yè)檢測金相顯微鏡

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產(chǎn)地

日本

樣本

暫無
蘇州西恩士工業(yè)科技有限公司

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MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半導體檢查顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法(DIC)、熒光法、紅外線法和深紫外線法,保證了**的圖像分辨率和鮮明度。

考慮了檢查效率的設(shè)計


主要操作集中配置在前面板上

前面板

[1] 照明強度旋鈕

[2] 物鏡倍率切換

[3] 孔徑光闌調(diào)節(jié)

在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌(AS)的開閉調(diào)節(jié),與物鏡的切換和觀察模式連動,用一個按鈕就可以操作。此外,用一個手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上,從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌(AS)的按鈕分別斜向配置,手不離開對焦手柄,只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設(shè)計提高了手指尖的感知度,能夠防止錯誤操作。


觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒

傾斜鏡筒示意圖

為了適應視點而調(diào)整座椅的高度,或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間,降低工作速度。但是,配備傾斜角度為0°~42°(可變高度為150 mm,SEMIS8對應)的傾斜鏡筒,可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢,甚至可以站立檢查。此外,這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離,可以在較大的平臺上輕松操作。


高靈敏度載物臺可以迅速決定位置

內(nèi)置離合器的載物臺手柄

對應300 mm晶圓/17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍(Y方向284mm)。另外,內(nèi)置離合器的載物臺手柄,可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺,快速完成檢查。


鮮明圖像和**的分辨率為特點的光學系


多種選擇可實現(xiàn)**的成像性能

物鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件,奧林巴斯有應對多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。

觀察影像實例

明視場觀察

暗視場觀察

微分干涉觀察

熒光觀察

豐富的產(chǎn)品陣容,可按需選擇
MPLAPON平場復消色差透鏡
MPLFLN平場半復消色差透鏡
MPLFLN-BD明暗視場用平場半復消色差透鏡
MPLFLN-BDP反射偏振光用平場半復消色差透鏡
LMPLFLN長工作距離平場半復消色差透鏡
LMPLFLN-BD明暗視場用長工作距離平場半復消色差透鏡
MPLN平場消色差透鏡
MPLN-BD明暗視場用平場消色差透鏡
SLMPLN超長工作距離平場消色差透鏡
LCPLFLN-LCD液晶長工作距離平場半復消色差透鏡

軟件方案

實現(xiàn)數(shù)字成像

MX61L配備了PC界面,可以讀取顯微鏡的電動功能。因此,捕獲影像時可以自動保存物鏡倍率,為日后處理和分析影像提供可靠的影像信息。


使用數(shù)碼照相機記錄和保存數(shù)碼影像

三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機。可以保存和記錄數(shù)碼影像,幫助創(chuàng)建觀察報告??梢罁?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機。


支持缺陷檢測的多種功能


快速切換物鏡,提高檢查速度

電動物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖

電動物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換,可以操作按鈕瞬時間完成,提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外,UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機,在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。


變換物鏡,孔徑光闌(AS)也隨之調(diào)節(jié)

AS自動調(diào)節(jié)示意圖

每次變換物鏡時都需要調(diào)節(jié)孔徑光闌(AS)的話,會影響檢查速度。MX61L對每個物鏡都可以設(shè)置觀察方法和AS(14級),只要切換物鏡就能以*合適的對比度進行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調(diào)節(jié)AS,提高速度的同時減輕了操作員的疲勞。


幫助實現(xiàn)多種觀察的附件


安全快速的搬運晶圓

自動晶圓搬送機AL110(200 mm規(guī)格)組合

MX61L能與自動晶圓搬送機組合,組合后的尺寸也被設(shè)計得很小。能夠無接觸、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務(wù)。此外,晶圓盒還可以從前面輕松設(shè)置。如果使用選件的遙控器,那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。


近紅外線觀察單元

由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡,和紅外線用超廣角三目鏡筒等,對應近紅外線的裝置備有各種型號。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。

近紅外線觀察單元

粘合襯墊


熒光觀察單元

在滑桿上追加鏡子裝置可以對應熒光觀察。備有U.B.G激勵的反射鏡裝置,可有效地檢查和分析有機EL和殘留光刻膠。

熒光鏡單元

熒光觀察


透射照明單元

透射照明單元

對應光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載,實現(xiàn)了透射簡易偏振光觀察。有通用的A型號和高NA(數(shù)值孔徑)的B型號兩種型號。


半導體/FPD檢查顯微鏡 規(guī)格MX61LMX61
光學系統(tǒng)UIS2光學系統(tǒng)(無限遠校正)
機身觀察方法明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光
反射/透射反射/透射
照明裝置機身一體型(明視場,暗視場+1選件)
照明系統(tǒng)反射照明100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
透射照明纖維光導
對焦單元電動/手動手動
行程32 mm
分辨率/微調(diào)靈敏度微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動1周移動0.1 mm
**樣本高度30 mm
物鏡轉(zhuǎn)換器電動型明視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉5孔
明暗視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉中心輸出5孔
手動式-
載物臺行程14×12英寸右下手柄:

356(X)×305(Y)mm

(透射照明范圍356×284 mm)

8×8 英寸右下手柄:

210(X)×210(Y)mm

(透射照明范圍189×189 mm)

6×6 英寸右下手柄:

158(X)×158(Y)mm

觀察筒廣角視場

(視場數(shù)22)

倒置雙目/三目觀察筒
正像三目觀察筒
超寬視場

(視場數(shù)26.5)

倒置三目觀察筒
正像傾斜三目觀察筒
附件單元IR單元/電動載物臺/自動裝載
外形尺寸710(W)×843(D)×507(H)mm

(標準組合)

509(W)×843(D)×507(H)mm

(標準組合)

重量51 kg(標準組合)40 kg(標準組合)
創(chuàng)新點

暫無數(shù)據(jù)!

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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