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溫控晶圓夾盤HCC602夾盤美國Instec
溫控晶圓夾盤HCC602夾盤美國Instec

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型號

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產(chǎn)地

美國

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上海恒商精密儀器有限公司

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Instec

來自液晶先驅(qū)院校美國科羅拉多大學的精密溫控裝置與液晶檢測設(shè)備

功能特點

可編程精密控溫??瑟毩⒖刂?,也可從上位機軟件控制

超低的盤面溫度梯度

獨立的上盤面真空吸氣槽,用于吸附固定晶圓樣品

軟件可拓展性強,可提供LabView等語言的SDK

#升級項# 性能可升級,詳見 配置列表

#選擇項#是否帶有上蓋。上蓋功能如下:

可拆卸的觀察窗

可變的樣品腔高度

用于負溫時的除霜設(shè)計

向腔室內(nèi)充入氣氛

可做改動或定制,詳詢上海恒商

技術(shù)參數(shù)

溫度范圍

-190℃ ~ 600 負溫需使用液氮制冷

可提升溫度上限

溫度分辨率

0.001

溫度穩(wěn)定性

±0.05(at 100) 可提升穩(wěn)定性

溫度均勻度

±0.1/cm可升級均勻性

*小控溫速度

±0.1/小時

**加熱速度

+150/分鐘(at 100)

**制冷速度

-100/分鐘(at 100)

溫度傳感器

100Ω鉑質(zhì)RTD

溫控方式

開關(guān)式PID 可升級為LVDCPID

尺寸

樣品腔面積

35 mm x 35 mm

*注:液氮泵型號不同,制冷表現(xiàn)也會有差異,請悉知

配置列表

HCC602 溫控晶圓夾盤

mK2000溫度控制器 軟件免費,控制線有多種接口供選

**溫度600℃ 升級為 更高

上蓋

液氮制冷系統(tǒng) 包含液氮泵與液氮罐,使樣品降至負溫

外殼水冷配件 用常溫水或冰水循環(huán)防止外殼過熱

固定支架 把夾盤固定在使用平臺上,防止滑動

溫控聯(lián)動顯微鏡相機 溫度-圖像聯(lián)動工作,附軟件

線性可變直流電源(LVDC) 裝在溫控器里,抑制電噪音

*注:產(chǎn)品有多種配置變化,詳詢上海恒商

欲咨詢產(chǎn)品請訪問本公司官網(wǎng)聯(lián)系我們

本公司為美國Instec中國區(qū)總代理、瑞典FLCE(FLC Electronics)中國區(qū)**代理,不經(jīng)過中間商直接與原廠接觸,能提供**惠的價格。

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