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Instec真空型臺(tái)式探針臺(tái)探針外部移動(dòng)
Instec真空型臺(tái)式探針臺(tái)探針外部移動(dòng)

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

品牌

產(chǎn)地

美國

樣本

暫無
上海恒商精密儀器有限公司

會(huì)員

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第2年

|

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Instec的真空型臺(tái)式探針臺(tái)系列是可從外部移動(dòng)探針進(jìn)行點(diǎn)針的桌上型探針臺(tái),涵蓋多型號(hào)、多溫度范圍。同時(shí)允許溫控、探針電測(cè)試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺(tái)上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔,亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Wo(hù)氣體,來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜,或高溫下氧化。

功能特點(diǎn)

桌上型溫控探針臺(tái),占地面積小

可編程控溫,涵蓋-190℃~1000℃(具體由型號(hào)而定)

適用 10 mm ~ 300 mm 晶圓和器件

可抽真空的腔體,亦可充入保護(hù)氣體使用

獨(dú)立的四個(gè)探針,可從設(shè)備外部移動(dòng)探針進(jìn)行點(diǎn)針

可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK

*可做定制或改動(dòng),詳詢上海恒商

溫控參數(shù)

溫度范圍

涵蓋 -190℃~1000℃(具體由型號(hào)而定)

加熱塊材質(zhì)

鋁合金 或 銀 或 陶瓷

傳感器/溫控方式

100ΩRTD / PID控制(含LVDC降噪電源)

*小加熱/制冷速度

±0.01℃/min

溫度分辨率

0.01℃ RTD傳感器

0.1℃ 熱電偶傳感器

溫度穩(wěn)定性

±0.05℃>25℃),±0.1℃<25℃

軟件功能

可設(shè)溫控速率,可設(shè)溫控程序,可記錄溫控曲線

電學(xué)參數(shù)

探針

默認(rèn)為錸鎢材質(zhì)的彎針探針 *可選其他種類探針

探針座

可從外部XYZ移動(dòng)的探針臂

粗調(diào)模式+微調(diào)模式,微調(diào)行程20mm

點(diǎn)針

從外部移動(dòng)點(diǎn)針,每個(gè)探針座都可點(diǎn)到樣品區(qū)上任意位置

探針接口

默認(rèn)為BNC接頭,可選三同軸接口

樣品臺(tái)面電位

默認(rèn)為電接地,可選電懸空(作背電極),可選三同軸接口

光學(xué)參數(shù)

適用光路

反射光路

窗片

可拆卸與更替的窗片

*小物鏡工作距離

25 mm *截面圖中WD

上蓋窗片觀察

窗片范圍φ50mm,大視角±40° *截面圖中θ1

負(fù)溫下窗片除霜

吹氣除霜管路

結(jié)構(gòu)參數(shù)

適用樣品

10 mm ~ 50 mm 直徑 (標(biāo)準(zhǔn))

*可定至300mm的樣品臺(tái)面

樣品腔高

6 mm

探針座

可從外部XYZ移動(dòng)的探針臂

粗調(diào)模式+微調(diào)模式,微調(diào)行程20mm

氣氛控制

氣密腔,可充入保護(hù)氣體*另有真空腔型號(hào)

外殼冷卻

可通循環(huán)水,以維持外殼溫度在常溫附近

臺(tái)體尺寸/重量

1060 mm x 600 mm x 213.2 mm / 20kg

選型表

TP102SV-PS

溫度范圍 -40℃ ~ 180℃,真空腔

HCP422V-PS

溫度范圍 -190℃ ~ 600℃(負(fù)溫需配液氮制冷系統(tǒng)),真空腔

HP1000V-PS

溫度范圍 35℃ ~ 1000℃,真空腔

定制型號(hào)

按客戶需求定制,適用300mm晶圓樣品

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用戶評(píng)論

產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無評(píng)論!
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