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jasco,膜厚測定系統(tǒng)(UTS-2000)
jasco,膜厚測定系統(tǒng)(UTS-2000)

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日本

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佳士科商貿有限公司

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規(guī)格

UTS-2000

機種

UTS-2000

測量方式

FT/IR 干渉膜厚測量

測量配置

反射、透過(選配

樣品尺寸

20 × 20 1200 × 1200μm

顯示器

內置CMOS相機確認測量位置

 測量范圍/精度

測量膜厚范圍

0.25μm750μmSiの場合)

測量膜厚再現(xiàn)

0.005μm以下 (同一點繰返し測定時、Si の場合)

 ●XY樣品臺

距離

200mm×200mm

驅動分辨率

2μm

 數(shù)據(jù)處理

對應OS

Windows 7 Professional

控制裝置

JASCO光學管理器控制光學系統(tǒng)/控制XY樣品臺/控制搬送機(選配

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