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jasco,真空紫外復(fù)曲折率計(jì)(BRV-100)
jasco,真空紫外復(fù)曲折率計(jì)(BRV-100)

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概要美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究所National Institute of Standards and TechnologyNIST發(fā)表了CaF2等的氟化物雙折射對(duì)于實(shí)現(xiàn)光刻的高解像度是很大的障礙。現(xiàn)雖然確立了補(bǔ)償方法,克服這種問(wèn)題,但是為驗(yàn)證這個(gè)方法是否可行,需要用到在真空紫外波長(zhǎng)區(qū)域具有高靈敏度的雙折射計(jì)本裝置是日本分光多年來(lái)積累的偏光測(cè)定技術(shù)在真空紫外領(lǐng)域的擴(kuò)展,高靈敏度雙折射測(cè)量的解決方案。根據(jù)偏光變調(diào)法,在真空紫外波長(zhǎng)區(qū)進(jìn)行氟化物等的雙折射測(cè)量。排除氧以及水的吸收所有的光路都進(jìn)行氮?dú)獯祾摺?/span>

規(guī)格

BRV-100

BRV-100

長(zhǎng)范圍

140nm320nm

光刻靈敏度

0.05nm157nm

穩(wěn)定性

1counth157nm

檢測(cè)下限

0.17 nm157nm

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