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HORIBA橢圓偏振光譜儀
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全自動化&高集成度&可視化光斑

一鍵式全自動快速橢偏儀 Auto SE——新型的全自動薄膜測量分析工具。采用工業(yè)化設(shè)計,操作簡單,可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動測量和分析,并輸出分析報告。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

1
主要特點

1. 液晶調(diào)制技術(shù),無機械轉(zhuǎn)動部件,重復(fù)性,信噪比高

2. 技術(shù)成像系技術(shù),所有樣品均可成像,對于透明樣品,自動去除樣品的背反射信號,使得數(shù)據(jù)分析更簡單.

3. 反射式微光斑,覆蓋全譜段,利于非均勻樣品圖案化樣品測試

4. 全自動集成度高,安裝維護簡便

5. 一鍵式操作軟件,快速簡單

6. 自動MAPPING掃描,分析樣品鍍膜均勻性

2
技術(shù)參數(shù)

1. 光譜范圍:450-1000 nm

2. 多種微光斑自動選擇

3. 光斑可視技術(shù),可觀測任何樣品表面

4. 自動樣品臺尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

5. 70度角入射

6. CCD探測器

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橢圓偏振光譜入門手冊——測量膜厚、光學(xué)常數(shù)的強大工具

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2. 適用的樣品及可獲取的信息

3. 常見的橢偏儀類型及優(yōu)勢分析

4. 測量、數(shù)據(jù)分析時的常見問題

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