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phasics SID4系列波前分析儀
phasics SID4系列波前分析儀

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法國

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上海屹持光電技術有限公司

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Phasics SID4系列 波前傳感器

法國Phasics 公司的產(chǎn)品基于其波前測量**技術,即4 波橫向剪切干涉技術。(4-Wave Lateral Shearing Interferometry)。在增強型改進型哈特曼掩模的基礎之上,這種獨特技術將高分辨率和大動態(tài)范圍較好結合在了一起。任何應用下,其都能實現(xiàn)全面、簡便、快速的測量。具有如下獨特技術優(yōu)勢:

高分辨率的相位圖,高分辨率可達400300。

具有直接測量高發(fā)散光束的能力

消色差,匹配CCD整個探測范圍,用于不同波長光而無需額外校準。

應用方向:

激光束質(zhì)量分析

自適應光學

光學系統(tǒng)測量

生物成像

熱成像,等離子體表面物理

型號

SID4

SID4-HR

SID4-DWIR

SID4-SWIR

SID4-NIR

SID4-UV

SID4 UV-HR

孔徑

3.6 × 4.8 mm2

8.9 × 11.8 mm2

13.44 × 10.08 mm2

9.6 × 7.68 mm2

3.6 × 4.8 mm2

7.4 × 7.4 mm2

8.0 × 8.0 mm2

空間分辨率

29.6 μm

29.6 μm

68 μm

120 μm

29.6 μm

29.6 μm

32 μm

采樣點/測量點

160 × 120

400 × 300

160 × 120

80 × 64

160 × 120

250 × 250

250 × 250

波長

400 nm ~ 1100 nm

400 nm ~ 1100 nm

3 ~ 5 μm , 8 ~ 14 μm

0.9 ~ 1.7 μm

1.5 ~ 1.6 μm

250 ~ 450 nm

190 ~ 400 nm

動態(tài)范圍

> 100 μm

> 500 μm

N/A

~ 100 μm

> 100 μm

> 200 μm

> 200 μm

精度

10 nm RMS

15 nm RMS

75 nm RMS

10 nm RMS

> 15 nm RMS

20 nm RMS

10 nm

靈敏度

< 2 nm RMS

< 2 nm RMS

< 25 nm RMS

3 nm RMS (高增益)< 1 nm RMS (低增益)

< 11 nm RMS

2 nm RMS

@ 250 nm, 2 μJ/cm2

0.5 nm

采樣頻率

> 100 fps

> 30 fps

> 50 fps

25/30/50/60 fps

60 fps

30 fps

30 fps

處理頻率

10 Hz (高分辨率)

3 Hz (高分辨率)

20 Hz

> 10 Hz (高分辨率)

10 Hz

> 2 Hz (高分辨率)

1 Hz

尺寸

54 × 46 × 75.3 mm

54 × 46 × 79 mm

85 × 116 × 179 mm

50 × 50 × 90 mm

44 × 33 × 57.5 mm

53 × 63 × 83 mm

95 × 105 × 84 mm

重量

250 g

250 g

1.6 kg

300 g

250 g

450 g

900 g

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