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海洋光學(xué)橢偏儀
海洋光學(xué)橢偏儀

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橢偏儀

SpecEL-2000是一款操作便捷的臺(tái)式光譜橢偏儀,主要用于測(cè)量平整和半透明的樣品,例如硅晶圓片和玻璃片等薄膜。

橢圓偏光技術(shù)是一種非接觸式、非破壞性,以光學(xué)技術(shù)測(cè)量表面薄膜特性的方法。其檢測(cè)原理是:當(dāng)一束偏振光經(jīng)過物體表面或界面時(shí),其偏振極化狀態(tài)會(huì)被改變。而橢偏儀就是通過探測(cè)樣品表面的反射光,來(lái)測(cè)量此改變(即反射光和入射光的振幅及相位的改變量),以決定表面特性薄膜的光學(xué)常數(shù)(n、k值)及膜厚。

SpecEL-2000測(cè)試系統(tǒng)主要包括:寬帶光源、高性能線陣CCD光譜儀、導(dǎo)光器件、起偏器、樣品測(cè)試臺(tái)、檢偏器、光學(xué)增強(qiáng)元件及測(cè)量分析軟件。

SpecEL-2000適合于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)特性,通常應(yīng)用于有薄膜存在的地方,其應(yīng)用包括光學(xué)鍍膜和保護(hù)膜、聚合物、光刻材料、平面平板顯示、計(jì)算機(jī)讀寫頭以及半導(dǎo)體集成電路制造的研究開發(fā)。另外,在生物、醫(yī)學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)及材料研究等方面有著廣泛的應(yīng)用。

SpecEL橢偏儀基本性能:

基本型號(hào):SpecEI-2000-UV/VIS/NIR & SpecEI-2000-VIS/NIR

光譜范圍:290-1050nm (UV/VIS/NR) & 400-1000nm (VIS/NIR)

測(cè)量范圍:1nm~10μm

膜厚分辨率:0.1nm

測(cè)量時(shí)間:7~13s

測(cè)量膜層:32層

光束直徑:300×1200μm (Smaller spots available)

入射角度:700 (other angles available)

樣品調(diào)整:高度±1mm;傾斜±10

測(cè)量指標(biāo):光學(xué)常數(shù)(n&k)及膜厚

快速響應(yīng):在線測(cè)量

基底材料:硅晶片和玻璃片等

數(shù)學(xué)模型:折射率/諧振子/柯西/塞耳邁耶爾/麥克斯韋-加尼特等數(shù)學(xué)模型

應(yīng)用場(chǎng)合:光學(xué)鍍膜/保護(hù)膜/聚合物/光刻材料/平面平板顯示/導(dǎo)體集成電路

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