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辛耘科技致力于高端清洗蝕刻設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn) 擁有強(qiáng)大的研發(fā)與軟件編寫團(tuán)隊 實現(xiàn)完全自主的軟硬件售后服務(wù)和升級 **程度地解決了客戶的后顧之優(yōu) 產(chǎn)品涵蓋2”~12”主流濕法工藝以及薄片、大功率器件、高溫制程、電鍍 、化鍍 、等特殊應(yīng)用、廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、三五族、微機(jī)電、和LED領(lǐng)域

儀器簡介：

• 2”~12” 手動/半自動/全自動濕制程設(shè)備及干燥機(jī)
• 傳送技術(shù): Cassette type / Boat type / Cassette-less
• 領(lǐng)域 : 半導(dǎo)體前后段 / LED / 藍(lán)寶石/薄片/ GaAs / MEMS…
• 制程 : lean/Etching/PRStrip/Solvent/Developer/Reclaim/Plating /High-temp/De-wax/CDU

特點:

• 高穩(wěn)定性與高可靠度
• 自有的軟硬件設(shè)計及完善QC系統(tǒng)
• 可提供客制化與量產(chǎn)設(shè)計
• 可靈活實現(xiàn) 手動 半自動 全自動及干進(jìn)干出 功能
• 多種可選擇的晶圓傳遞方式(cassette /cassetteless /both type)
• 友好的人機(jī)操作界面
• 完整的全自動生產(chǎn)（包括SMIF、晶圓傳遞、晶圓盒的自動傳遞）
• 完善的客服系統(tǒng)
• **可提供cassetteless傳輸?shù)膌ocal廠家

應(yīng)用領(lǐng)域：

• 半導(dǎo)體/三五族/微機(jī)電：
• 4”-12” 相關(guān)清洗、顯影、蝕刻等制程
• LED :
• 藍(lán)寶石基板清洗工藝（切割、研磨、拋光段應(yīng)用、PSS圖形化襯底應(yīng)用）前后端工序中的清洗、顯影、蝕刻、去膠、高溫磷酸（側(cè)腐蝕工藝）、化鍍金工藝等濕法應(yīng)用