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| HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源 |
| 靈活的 HFV® 電源主要用於200和300 mm 晶圓製程、平面顯示器和 DVD 設(shè)備的電漿產(chǎn)生器，為離子化物理氣相沉積 (IPVD)、CVD 和蝕刻提供了製程一致性。這種通用電源的特點(diǎn)有數(shù)位合成變頻輸出和微處理器控制，輸出功率為5和8 kW。此外，其輸出頻率範(fàn)圍為1.765-2.165 MHz。韌體上的頻率調(diào)諧參數(shù)可進(jìn)行訂製，以確保在各種反應(yīng)室結(jié)構(gòu)和製程方法下的可重複運(yùn)行。 |
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