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產(chǎn)品名稱：Harrick PDC－32G－2 產(chǎn)品編號(hào)：產(chǎn)品規(guī)格： |
型號(hào)規(guī)格：PDC—32G－2
整機(jī)規(guī)格：8.5×10×8（長×寬×高）英寸 (216×254×203)mm
反應(yīng)艙規(guī)格：Φ3×L6.5英寸耐熱玻璃 (Φ76×L165)mm
反應(yīng)艙有效容積：0.75L
輸入電源：220 V／50Hz
整機(jī)輸入功率：100 W
射頻輸出檔：低檔680V DC、10mA DC、6.8W/中檔700V DC、15mA DC、10.5W/高檔720V DC、25mA DC、18W
常用工作氣體：空氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等
特征：緊湊的臺(tái)式設(shè)備，應(yīng)用一個(gè)**功率為18瓦的RF線圈，沒有RF幅射，符合CE安全標(biāo)準(zhǔn)。艙蓋可拆卸。
選配件：石英等離子清洗艙
提供各自計(jì)量兩種不同氣體進(jìn)氣和監(jiān)測(cè)壓力的氣體計(jì)量混合器Plasma FloTM
需要：兼容的真空泵，*小速率為1.4 m3/hr，**極限為200 MTorr
包括：1/8英寸NPT針閥束引入氣體和控制壓力
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