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• 獨(dú)有聚焦微束惰性氣體離子束

• 極低修復(fù)電壓：50 eV

• 聚焦束斑直徑：1μm

• 定位精度高，去除非晶層且不產(chǎn)生再沉積現(xiàn)象

• 采用氬離子束激發(fā)二次電子成像同時(shí)實(shí)現(xiàn)修復(fù)及定位

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