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Fischione微束定點離子減薄系統(tǒng)1040
Fischione微束定點離子減薄系統(tǒng)1040

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技術(shù)特色：

• 獨有聚焦微束惰性氣體離子束
• 極低修復(fù)電壓：50 eV
• 聚焦束斑直徑：1μm
• 定位精度高，去除非晶層且不產(chǎn)生再沉積現(xiàn)象
• 采用氬離子束激發(fā)二次電子成像同時實現(xiàn)修復(fù)及定位
• 離子束可以對準定點位置或在一個選定的區(qū)域進行進行精細修復(fù)
• 配備液氮冷臺，去除熱損傷
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