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等離子體刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)儀
等離子體刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)儀

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北京英格海德分析技術(shù)有限公司

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儀器簡(jiǎn)介:

IMP離子蝕刻探針(Ion Milling Probe),自帶差式泵,堅(jiān)固的二次離子質(zhì)譜儀,適于分析離子蝕刻過(guò)程中的二次離子和中性粒子.

獨(dú)有的專(zhuān)業(yè)終點(diǎn)檢測(cè)(End Point Detection)儀器,用于離子蝕刻控制以及過(guò)程質(zhì)量**化監(jiān)測(cè).

技術(shù)參數(shù):

應(yīng)用:

• 終點(diǎn)檢測(cè)(End Point Detection)

• 靶的純度鑒定

• 質(zhì)量控制/ SPC.

• 殘余氣體分析

• 泄漏監(jiān)測(cè)

主要特點(diǎn):

特點(diǎn):

• 高靈敏度的 SIMS/MS,帶脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器

• 三級(jí)過(guò)濾四極桿,標(biāo)準(zhǔn)配置質(zhì)量數(shù)為300 amu

• 差式泵歧管,經(jīng)連接法蘭,接到過(guò)程室

• 離子光學(xué)器件,帶能量分析器和內(nèi)置離子源

• Penning規(guī)和互鎖裝置,以提供過(guò)壓保護(hù)

• 數(shù)據(jù)系統(tǒng)與過(guò)程控制工具整合

• 穩(wěn)定性(24h以上,峰高變化小于 ±0.5%)

• 通過(guò) RS232、RS485或以太網(wǎng), 軟件MASsoft控制

• 程控DDE, 平行數(shù)字式I/O, RS232通訊

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