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本設(shè)備主要用于碳素制品的化學(xué)氣相沉積增密處理，或以碳?xì)錃怏w為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理及碳?xì)种破氛婵仗蓟錈崽幚怼?/p>
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