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化學(xué)氣相沉積爐品牌
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旋片泵：真空度在空爐冷態(tài)可達(dá) 1pa,(可選分子泵真空機(jī)組，真空度可達(dá)到6.67x10-5pa）
真空計(jì):數(shù)顯真空計(jì)實(shí)時(shí)顯示真空度，精度高。
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