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GSL-1700X-HVC品牌
科晶產(chǎn)地
安徽樣本
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1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)
型號：
GSL-1700X-HVC
產(chǎn)品概述：
GSL-1700X-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng)，它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成，其**工作溫度可達(dá)1600℃，極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
| GSL-1700X 系列管式爐 | 殼體· 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷，使得殼體表面的溫度 < 55°C.· 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命· 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失· 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上，方便移動.儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭，閥門，高真空機組爐管· 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管· 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上· （標(biāo)配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L（選配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1000mm L功率6KW工作電壓 AC 208-240V單相, 50/60Hz加熱元件8 根1800°C grade MoSi2 heating element工作溫度· **工作溫度.: 1650°C（<2h）（更新時間：19.12.10--JS2）連續(xù)工作溫度.: 1600°C升溫速率≤5°C/min加熱區(qū)長度加熱區(qū)長度: 457 mm (18")溫控系統(tǒng)· 采用PID方式自動控制，并可設(shè)置30段升降溫程序· 控溫精度: ±1°C · 控溫儀表操作視頻熱電偶: B 型，已經(jīng)安裝在爐內(nèi)真空法蘭· 一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝· 法蘭上帶有一機械壓力表· 兩個精密針閥· 一個KF-25連接器 和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口一個1/4"卡套接頭外形尺寸550 x 380 x 520mm |
| 高真空機組 | 功率100~110W工作電壓AC 208-240V單相, 50/60Hz外形尺寸600(L) x 600(W) x 700(H), mm殼體· 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm· **承載量: 600 Lbs on top· 分子泵控制面板: LCD 數(shù)字顯示內(nèi)裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany: 控制面板· 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動等真空度達(dá)到10-2mbar后，分子泵自動啟動） · 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率抽氣速率· N2 33 L/s· He 39 L/s (2340L/minute)H2 32 L/s工作范圍 1000 mbar to <1E-7 mbar極限<1E-8 mbar (without any leaking ) |
| 質(zhì)量流量控制器 | 殼體· 采用 316不銹鋼制作· 混氣箱尺寸: Φ80X120mm · 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mmMFC控制面板 (Click to enlarge)，可根據(jù)客戶要求定制功率18W工作電壓AC 208-240V, 單相, 50/60Hz |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件 |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | · CE認(rèn) · 所有電器元件（＞24V）都通過了UL/MET/CSA認(rèn)證 · 若客戶出認(rèn)證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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