參考價(jià)格
100-150萬元型號(hào)
VCVD品牌
頂立科技產(chǎn)地
湖南樣本
暫無非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
鎳銅絲燒結(jié)氣氛：
真空溫控精度：
±5最高溫度：
1500額定溫度：
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立式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8、CH4等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理。
☆ 采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；
☆ 采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
☆ 采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
☆ 對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理。
| 參數(shù)\型號(hào) | VCVD-0305-C | VCVD-0608-C | VCVD-0812-C | VCVD-1120-C | VCVD-1320-C | VCVD-1520-C |
| 工作區(qū)尺寸D×H（mm） | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1100×2000 | Φ1300×2000 | Φ1500×2000 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5/±10 | ±7.5/±10 | ±7.5/±15 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±10/±20 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) |
| 參數(shù)\型號(hào) | VCVD-1822-C | VCVD-2032-C | VCVD-2632-C | VCVD-3338-C | VCVD-3344-C |
| 工作區(qū)尺寸D×H（mm） | Φ1800×2200 | Φ2000×3200 | Φ2600×3200 | Φ3300×3800 | Φ3300×4400 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±15 | ±15 | ±15 | ±20 | ±20 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
☆ 爐門：絲桿升降/液壓升降/手動(dòng)升降；旋轉(zhuǎn)移開/平行移開（大尺寸爐門）；手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊
☆ 爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
☆ 爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC
☆ 加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
☆ 工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計(jì)；手動(dòng)閥/自動(dòng)閥；進(jìn)口/國產(chǎn)
☆ 熱電偶：K分度號(hào)/N分度號(hào)/C分度號(hào)/S分度號(hào)
暫無數(shù)據(jù)！
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4月28日，由石墨邦主辦的2025年第六屆半導(dǎo)體用炭材料技術(shù)研討會(huì)在長沙召開。頂立科技董事長戴煜博士在會(huì)上作“半導(dǎo)體用關(guān)鍵涂層材料及熱工裝備技術(shù)與應(yīng)用現(xiàn)狀”主題報(bào)告，介紹了公司在半導(dǎo)體關(guān)鍵涂層材料及熱
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