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概述

為了滿足以半導(dǎo)體、電子工業(yè)、化工業(yè)等為代表的制造工藝對無油的清沽真空的需要，越來越多的干式真空獲得設(shè)備得以開發(fā)及廣泛應(yīng)用。其中干式羅茨真空泵以其抽速大、對條件要求較寬松等優(yōu)點(diǎn)在干泵市場中占有重要的地位。而在干式羅茨真空泵當(dāng)中則是以多級羅茨真空泵為主，國外真空技術(shù)比較發(fā)達(dá)的國家都已開發(fā)生產(chǎn)出多級羅茨泵的系列產(chǎn)品。

    所謂多級是相對于傳統(tǒng)愈義上的“單級”羅茨泵而言的，即在轉(zhuǎn)子軸上串聯(lián)多級羅茨型轉(zhuǎn)子，各級轉(zhuǎn)子由中間壁來隔離，形成相對獨(dú)立的泵腔，各級泵腔之間通過上一級的進(jìn)氣口和下一級的排氣口間的氣流通道相連接。各級轉(zhuǎn)子的直徑和形狀是相同的，而各級轉(zhuǎn)子的寬度有時是不同的，向高壓側(cè)方向變窄了。被抽氣體從**級的進(jìn)氣口進(jìn)入泵腔，經(jīng)一級壓縮后，通過氣流通道進(jìn)人下一級泵腔，繼續(xù)壓縮，氣體經(jīng)過如此逐級壓縮，*后從*后一級的排氣日排出。簡言之，“多級”就是“多級轉(zhuǎn)子”，“多級泵腔”，“多級壓縮”。

多級羅茨泵通過多級轉(zhuǎn)子的串聯(lián)實(shí)現(xiàn)多個羅茨泵串聯(lián)的效果，所以多級羅茨泵并不能比單級羅茨泵擁有更大的抽速，其理論抽速是取決于**級的理論抽速。但是這種結(jié)構(gòu)卻可以使羅茨真空泵達(dá)到很高的壓縮比。因此，多級羅茨泵是可以作為主泵直排大氣，而無需再配置前級泵，這樣就可以避免前級泵環(huán)節(jié)給系統(tǒng)帶來的油氣污染。3~ 6 級的羅茨泵可從大氣壓抽到極限壓力1Pa ，如此高的壓力差會使轉(zhuǎn)子過熱膨脹，而產(chǎn)生卡死現(xiàn)象．所以要在高壓段對轉(zhuǎn)子進(jìn)行氣冷．以控制轉(zhuǎn)子的溫度不超過其允許范圍。一般的氣冷方案是使從各級的排氣口排出的氣體流經(jīng)冷卻器冷卻，再返回到該級的工作腔中．利用冷卻氣體來冷卻轉(zhuǎn)子。當(dāng)然．這種冷卻方法是要以損失羅茨泵的抽速為代價的．為了防止軸承和齒輪的潤滑油向泵腔內(nèi)返流，多級羅茨泵的泵腔和齒輪箱之間隔開或用迷宮式結(jié)構(gòu)加以密封，為了提高無油的程度，齒輪箱也有另外用真空泵排氣的情況。