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隨著電力電子的發(fā)展和第三代半導(dǎo)體應(yīng)用的深入，DBC（直接覆銅）陶瓷基板由于結(jié)合可靠性、覆銅厚度局限等問(wèn)題已越發(fā)不能滿(mǎn)足高可靠性應(yīng)用領(lǐng)域?qū)μ沾苫宓囊螅煽啃愿叩腁MB（活性金屬釬焊覆銅）陶瓷基板受到越來(lái)越多的關(guān)注。相比于DBC技術(shù)，AMB是利用釬料中含有的少量活性元素Ti、Zr與陶瓷反應(yīng)生成能被液態(tài)釬料潤(rùn)濕的反應(yīng)層，從而實(shí)現(xiàn)陶瓷與金屬接合的一種方法。不僅具有更高的熱導(dǎo)率、更好的銅層結(jié)合力，而且還有熱阻更小、可靠性更高等優(yōu)勢(shì)，更適合制備在電動(dòng)汽車(chē)、動(dòng)力機(jī)車(chē)用IGBT模塊封裝用陶瓷覆銅基板。AMB主要工藝流程為在無(wú)氧銅片和陶瓷板間放置印刷AgCuTi焊膏，然后置于800~900℃的高真空環(huán)境中進(jìn)行釬焊。 

AMB陶瓷基板

以Ti為活性元素的AgCuTi活性釬料焊膏得到了廣泛的研究，它是由釬料粉末和粘結(jié)劑組成的AgCuTi活性焊膏，無(wú)須加熱可以有效避免Ti氧化。一般是將金屬粉通過(guò)球磨或其他方式混合，然后釬焊，但是粉體分散的細(xì)度和均勻性是一大難題。我們采用TRILOS TR50M三輥機(jī)，來(lái)分散AgCuTi活性焊膏。

材料：AgCuTi合金粉末（初始顆粒20μm左右）+松油醇

加工設(shè)備： TRILOS TR50M型三輥機(jī) 氧化鋯輥筒+合金鋼刮刀

TRILOS TR50M三輥機(jī)為基本型三輥機(jī)。特別針對(duì)處理量相對(duì)較少，精度要求相對(duì)較低的客戶(hù)而進(jìn)行開(kāi)發(fā)的超小型研磨設(shè)備。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，尺寸較小，體積輕便，采用無(wú)極調(diào)速控制流量，機(jī)械方式調(diào)節(jié)間距。

TRILOS TR50M三輥機(jī)分散AgCuTi活性焊膏

分散研磨工藝如下：

三輥機(jī)運(yùn)行中無(wú)漏料、出料均勻，輥?zhàn)悠叫卸容^好，使用結(jié)束后無(wú)跑位。經(jīng)刮板細(xì)度計(jì)測(cè)試，物料的最終細(xì)度為13μm，達(dá)到了客戶(hù)的要求。

TRILOS公司介紹

TRILOS（泰洛思）是精密設(shè)備制造商，視客戶(hù)滿(mǎn)意為終極目標(biāo)，力求將的工藝技術(shù)結(jié)合客戶(hù)的需求，設(shè)計(jì)出貼近客戶(hù)需求的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品。

泰洛思正在積極開(kāi)拓市場(chǎng)，目前產(chǎn)品已經(jīng)在美國(guó)、中國(guó)、歐洲、韓國(guó)、日本和臺(tái)灣等地區(qū)獲得許多忠實(shí)的用戶(hù)，我們致力于把優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品分享給更多使用者。

TRILOS三輥機(jī)優(yōu)點(diǎn)：

① TRILOS三輥機(jī)采用一次循環(huán)，有可能完全實(shí)現(xiàn)物質(zhì)的均質(zhì)化與分散，減少顆粒尺寸，打破團(tuán)聚粒子。其結(jié)果是均質(zhì)化的漿料，可為物料的進(jìn)一步加工打下基礎(chǔ)。

② 可用觸摸屏實(shí)現(xiàn)每個(gè)輥間距離調(diào)節(jié)，確保輥?zhàn)悠叫卸?。彈性張緊的刮刀插口確保刮刀恒壓，在操作過(guò)程中不需要重新調(diào)節(jié)。

③ 不同材質(zhì)的輥?zhàn)佣伎梢允褂?，輥?zhàn)蛹肮蔚恫馁|(zhì)的選擇-從不銹鋼到氧化鋁，碳化硅及氧化鋯-滿(mǎn)足各種不同需要。

④ 三輥機(jī)上的安全裝置確保操作人員的安全，機(jī)器可簡(jiǎn)易而及其快速的清洗。

      ⑤ TRILOS 的物聯(lián)網(wǎng)、智能化三輥機(jī)解決方案，解決了客戶(hù)在使用中遇到的數(shù)據(jù)無(wú)法量化分析，數(shù)據(jù)丟失，設(shè)備互相獨(dú)立，無(wú)法聯(lián)網(wǎng)進(jìn)行管理和控制等等方面的問(wèn)題。讓客戶(hù)可以對(duì)設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，對(duì)員工進(jìn)行權(quán)限分配和管理，設(shè)備運(yùn)行過(guò)程保持全程記錄和備份，利于加工過(guò)程參數(shù)的研究和設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)。此外，智能物聯(lián)平臺(tái)還可以接入混料機(jī)、三輥機(jī)、上料機(jī)、均質(zhì)機(jī)等設(shè)備平臺(tái)，同時(shí)可以接入在線(xiàn)粘度計(jì)、在線(xiàn)粒度儀、在線(xiàn)近紅外分析儀等儀器進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。

上海人和科學(xué)儀器有限公司

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