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位于海淀區(qū)中關(guān)村的“硬科技”企業(yè)中科科儀公司，積極落實“新十條”聯(lián)防聯(lián)控機制，加速樹立“每個人都是自己健康的第一責任人”的科學防控意識，適時調(diào)整疫情防控應(yīng)對預(yù)案，全面復(fù)工復(fù)產(chǎn)，助推國產(chǎn)高端科學儀器裝備與核心零部件產(chǎn)業(yè)化進程。

記者在中科科儀的辦公現(xiàn)場看到，研發(fā)和生產(chǎn)人員正繁忙有序地進行著半導體行業(yè)專用磁懸浮分子泵的開發(fā)測試和掃描電鏡的裝配調(diào)試，加快研發(fā)和生產(chǎn)節(jié)奏，有力有序，復(fù)工復(fù)產(chǎn)，穩(wěn)產(chǎn)滿產(chǎn)。據(jù)悉，“新十條”政策出臺后，中科科儀符合條件的人員已經(jīng)全部到崗，達產(chǎn)率達100%，各項經(jīng)營活動正常開展。

測試有序進行

記者來到中科科儀總部五層的真空技術(shù)研發(fā)中心，看到研發(fā)人員正在加緊進行半導體行業(yè)專用磁懸浮分子泵最后的測試，工藝成熟后，產(chǎn)品將轉(zhuǎn)入分子泵生產(chǎn)線進行大批量生產(chǎn)。

“航空航天、半導體制造、國防科技、科研儀器、大科學工程……凡是需要超高真空環(huán)境的行業(yè)，都需要用到分子泵，是科學儀器、前沿科學裝置和產(chǎn)業(yè)裝備等不可或缺的核心零部件，而這里正在測試的磁懸浮分子泵是半導體前道工藝裝備必不可少的核心零部件。”中科科儀的工作人員告訴記者。

據(jù)悉，中科科儀研制出的磁懸浮分子泵，已經(jīng)批量應(yīng)用于半導體前道工藝裝備，為解決我國科學儀器與高端裝備核心零部件受制于人的“卡脖子”問題不斷努力。

調(diào)試正常開展

隨后，記者又來到掃描電鏡的調(diào)試區(qū)域，只見一臺臺掃描電鏡正在總調(diào)人員面前進行最后的整機調(diào)試，準備將發(fā)往全國各地的客戶現(xiàn)場。中科科儀的工作人員表示，掃描電鏡被列為國家三十五項“卡脖子”技術(shù)之一，也被稱為科學界的“納米之眼”。借助掃描電子顯微鏡，就可以觀察到納米級尺度，觀測到病毒、半導體器件的納米結(jié)構(gòu)等，幫助人類解決微米至納米尺度的微觀形貌觀測以及微區(qū)成分分析問題，成為前沿科學研究和高端產(chǎn)業(yè)的必備工具，在助力高端產(chǎn)業(yè)發(fā)展方面也發(fā)揮著不可或缺的作用。

“它不僅廣泛應(yīng)用于生命科學、航天航空等尖端科學研究，也在新能源、新材料等諸多行業(yè)的工藝環(huán)節(jié)以及環(huán)境保護、司法鑒定等領(lǐng)域批量應(yīng)用，為我國高端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展發(fā)揮了重要作用。尤其是在半導體行業(yè)的器件檢測和晶圓檢測等制造環(huán)節(jié)，均實現(xiàn)批量應(yīng)用，助力我國半導體產(chǎn)業(yè)自主可控?！敝锌瓶苾x工作人員告訴記者。

保障訂單供應(yīng)

疫情之下，面對歷史新高的科學儀器和核心零部件訂單需求，企業(yè)的創(chuàng)新研發(fā)與批量生產(chǎn)都面臨重重挑戰(zhàn)。記者了解到，在之前的新一代產(chǎn)品磁懸浮分子泵的研制過程中，為早日完成研制和產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)交付，中科科儀研發(fā)技術(shù)與生產(chǎn)團隊每天堅持線上開展項目工作會議，留駐公司的技術(shù)人員連續(xù)數(shù)天加班到深夜，全力克服疫情影響，確保交付成果達到最佳狀態(tài)，最終在疫情期間完成了磁懸浮分子泵的研制和產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)任務(wù)。

“當前，我們研制的磁懸浮分子泵在刻蝕、離子注入等半導體前道工藝核心制程中已經(jīng)實現(xiàn)國產(chǎn)化替代，進入國內(nèi)半導體裝備頭部企業(yè)，并在光伏、鋰電等新能源行業(yè)實現(xiàn)大批量應(yīng)用，以高性價比和供應(yīng)優(yōu)勢實現(xiàn)國產(chǎn)化替代，助力國家雙碳經(jīng)濟發(fā)展。”中科科儀相關(guān)業(yè)務(wù)負責人表示。