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復納科學儀器（上海）有限公司
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SEMPREP SMART 離子研磨儀
SEMPREP SMART離子研磨儀配備了高能量和可選的低能量氬離子槍。這款設備是用于掃描電子顯微鏡(SEM)和電子背散射衍射(EBSD)樣品的*終加工和清潔的理想選擇。離子加工可以改進和清潔機械拋光的 SEM 樣品并為 EBSD 分析制備無損表面。該設備還適用于快速截面加工。為您制備高精度和高質量的樣品，例如在半導體測試或鋰離子電池隔膜的截面檢查中均能實現(xiàn)出色的效果。
主要特點：
? 先進的離子槍設計和自動化功能
? 新型用戶友好操作軟件:為用戶提供智能輔助
? 更精確的針閥:允許對氣流進行精細調整
? 高精度可調性:用于精細調節(jié)操作
? 更長壽命高真空傳感器
產品功能：
? 可選低能槍（LEG）
? 可選的新型 LN2 冷卻系統(tǒng)
? 可選真空轉移裝置 (VTU)，用于在真空條件下取出樣品
? 獨立的對位樣品臺：在進行 90° 加工時用于精確樣品定位
技術參數(shù)：
離子槍：
超高能量離子槍，**可達 16 keV
樣品尺寸
截面樣品臺（可選 30°、90°樣品臺）：
? 30°樣品臺：**尺寸16.4mm (長) x 16mm (寬) x 3.1mm (厚)
? 90°樣品臺：**尺寸18.6mm (長) x 16mm (寬) x 6mm (厚)
用于表面加工（EBSD）的平面樣品臺，配有三種不同的頭部類型
? 平頭型：**直徑 50mm x 4mm
? 標準型：**直徑 32mm x 15mm
? 空心型：**直徑 25mm x 23mm
樣品臺移動
? 樣品傾斜角度：0° 至 30°，每 0.1° 連續(xù)可調
? 樣品旋轉角度調節(jié)：360 可變速樣品旋轉，角度速度可調
? 樣品加工擺角（搖擺）：±10° 至 ±120°，每 5° 連續(xù)可調
樣品冷卻（可選）
液氮冷卻或 Peltier 冷卻
真空系統(tǒng)
無油隔膜泵和分子泵
氣體供應系統(tǒng)
純度為 99.999% 的氬氣工作氣體，高精度針閥流量控制
分子泵
HiPace 80 Neo.
成像系統(tǒng)
500萬像素CMOS相機，具有圖像內的測量功能
計算機控制
易于使用的圖形界面，自動化離子槍操作和樣品臺 位置校準
使用氬離子束進行加工
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企業(yè)名稱
復納科學儀器（上海）有限公司企業(yè)類型
有限責任公司(自然人投資或控股)信用代碼
91310115594714659N法人代表
樊麗麗注冊地址
上海市閔行區(qū)申濱路88號704單元成立日期
2012-04-19注冊資本
500萬(元)有效期限
2012-04-19 至 2042-04-18
經營范圍
一般項目：儀器儀表、實驗室設備、電子產品及相關零配件的研發(fā)和銷售；從事儀器儀表技術領域內的技術開發(fā)、技術推廣、技術咨詢、技術轉讓、技術服務、技術交流；貨物進出口；技術進出口；信息咨詢服務（不含許可類信息咨詢服務）。（除依法須經批準的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經營活動）
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