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臥式化學(xué)氣相沉積爐(SiC、BN)

臥式化學(xué)氣相沉積爐(SiC、BN)
  • 品牌:頂立科技
  • 產(chǎn)地:湖南
  • 關(guān)注度:2647
  • 型號: 臥式化學(xué)氣相沉積爐(SiC、BN)
  • 報價:面議
  • 信息完整度:
核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:其他
  • 金屬電熱元件:其他
  • 燒結(jié)氣氛:其他
產(chǎn)品介紹

臥式化學(xué)氣相沉積爐(SiC、BN)技術(shù)特征

采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動范圍?。?/span>

全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

多級高效尾氣處理系統(tǒng),能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物,環(huán)境友好;

可選配新設(shè)計的防腐蝕真空機組,持續(xù)工作時間長,維修率極低;

使用工藝氣氛:真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。

臥式化學(xué)氣相沉積爐(SiC、BN)產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號HCVD-060609-SICHCVD-101015-SICVCVD-121220-SICHCVD-151530-SICHCVD-252035-SIC
工作區(qū)尺寸W×H×L(mm)600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30002500×2000×3500
**溫度(℃)15001500150015001500
溫度均勻性(℃)±7.5±7.5±10±10±10
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

臥式化學(xué)氣相沉積爐(SiC、BN)配置選擇

結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動/自動

爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC/金屬

熱電偶:K/N/C/S分度號

真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組


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  • 臥式化學(xué)氣相沉積爐(SiC、BN)的工作原理介紹?
  • 臥式化學(xué)氣相沉積爐(SiC、BN)的使用方法?
  • 臥式化學(xué)氣相沉積爐(SiC、BN)多少錢一臺?
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工商信息

企業(yè)名稱

湖南頂立科技股份有限公司

企業(yè)類型

其他股份有限公司(非上市)

信用代碼

91430100788042096T

法人代表

戴煜

注冊地址

中國(湖南)自由貿(mào)易試驗區(qū)長沙片區(qū)星沙產(chǎn)業(yè)基地(長龍街道)涼塘東路1271號

成立日期

2006-05-25

注冊資本

3989.2752萬人民幣

有效期限

2006-05-25 至 無固定期限

經(jīng)營范圍

許可項目:第二類醫(yī)療器械生產(chǎn);第三類醫(yī)療器械生產(chǎn);第三類醫(yī)療器械經(jīng)營(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動,具體經(jīng)營項目以相關(guān)部門批準(zhǔn)文件或許可證件為準(zhǔn))一般項目:新材料技術(shù)研發(fā);新材料技術(shù)推廣服務(wù);技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣;工業(yè)設(shè)計服務(wù);3D打印服務(wù);3D打印基礎(chǔ)材料銷售;增材制造;石墨及碳素制品制造;石墨及碳素制品銷售;合成材料制造(不含危險化學(xué)品);高性能纖維及復(fù)合材料制造;高性能纖維及復(fù)合材料銷售;金屬材料制造;非金屬礦物制品制造;非金屬礦及制品銷售;金屬基復(fù)合材料和陶瓷基復(fù)合材料銷售;鍛件及粉末冶金制品制造;鍛件及粉末冶金制品銷售;金屬表面處理及熱處理加工;機械電氣設(shè)備制造;機械設(shè)備研發(fā);機械設(shè)備銷售;機械設(shè)備租賃;專用設(shè)備制造(不含許可類專業(yè)設(shè)備制造);冶金專用設(shè)備制造;冶金專用設(shè)備銷售;環(huán)境保護(hù)專用設(shè)備制造;環(huán)境保護(hù)專用設(shè)備銷售;泵及真空設(shè)備制造;泵及真空設(shè)備銷售;智能基礎(chǔ)制造裝備制造;智能基礎(chǔ)制造裝備銷售;烘爐、熔爐及電爐制造;烘爐、熔爐及電爐銷售;增材制造裝備制造;增材制造裝備銷售;非居住房地產(chǎn)租賃;貨物進(jìn)出口;技術(shù)進(jìn)出口;第二類醫(yī)療器械銷售(除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目外,憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動)。
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湖南頂立科技股份有限公司創(chuàng)建于2006年,專注于特種材料及特種熱工裝備研制、生產(chǎn)和銷售。公司是A股主板上市公司(楚江新材002171)的控股子公司,國家產(chǎn)業(yè)投資基金投資企業(yè)。公司擁有“全國博士后科研工作站”、 “航空動力特種焊接技術(shù)與材料湖南省國防科技重點實驗室”、“湖南省新型熱工裝備工程技術(shù)研究中心”、“綠色節(jié)能熱工裝備與智能控制技術(shù)湖南省工程實驗室”、“航天航空熱工裝備湖南省工業(yè)設(shè)計中心”等創(chuàng)新平臺。公司攻克了長期制約我國熱工裝備及新材料領(lǐng)域的重大關(guān)鍵核心技術(shù),取

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