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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
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一、產(chǎn)品特色
這是一款定制可開啟式CVD設(shè)備。該設(shè)備主要開啟式加熱爐、氣路系統(tǒng)、反應(yīng)管、智能控制系統(tǒng)。
1、開啟式加熱爐：
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配S型熱電偶，單點(diǎn)控溫；設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應(yīng)管
2、氣路系統(tǒng)可精確控制3路氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，另外單獨(dú)1路可通強(qiáng)腐蝕氣體，配備吹掃氣路。
氣路管路及閥門，精工件都采用316L材質(zhì)。
3、反應(yīng)管組件
反應(yīng)管組件使用耐高溫剛玉管，內(nèi)加剛玉管堵，兩端密封法蘭帶水冷卻系統(tǒng)，反應(yīng)管尾部帶反應(yīng)物收集冷卻裝置。實(shí)驗(yàn)眾產(chǎn)生的尾氣經(jīng)過冷卻收集后再通過球閥排出。
4、氣體報(bào)警系統(tǒng)
配備有氫氣報(bào)警器，氯氣報(bào)警器、甲烷報(bào)警器。分別設(shè)置1個檢測點(diǎn)，報(bào)警后自動切斷氫氣、氯氣和甲烷的供應(yīng)，并發(fā)出警報(bào)。
5、 智能控制系統(tǒng)
采用智能PID模糊控制，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報(bào)警功能。
二、技術(shù)參數(shù)
**溫度 | 1400℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1300℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 硅碳棒 |
熱電偶 | S型 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能。 |
加熱總功率 | ≤9KW |
加熱區(qū)尺寸 | 300*130*160mm |
真空度 | ≤5pa |
設(shè)備尺寸 | 2100*600*1350mm |
設(shè)備重量 | 約350KG |
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