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智能款滑軌式CVD系統(tǒng):BTF-1200C-SL-L-CVD

智能款滑軌式CVD系統(tǒng):BTF-1200C-SL-L-CVD
貝意克  2023-11-08  |  閱讀:1115

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一 設(shè)備簡介:

BTF-1200C-SL-L-CVD是一款智能型滑軌式CVD系統(tǒng)。該設(shè)備主要分為五大部分:加熱系統(tǒng),真空系統(tǒng),氣體控制供給系統(tǒng),自動控制移動系統(tǒng),控制軟件系統(tǒng)組成。爐膛為440mm溫區(qū)爐膛,配K型熱電偶,單點(diǎn)控溫;加熱爐置于滑軌上,可手動在規(guī)定的范圍內(nèi)任意滑動到想要的位置并用限位器固定?。粴饴废到y(tǒng)采用4路流量計(jì)控制,經(jīng)由不銹鋼混氣罐混合,再進(jìn)入左端進(jìn)氣法蘭;左端法蘭端蓋上預(yù)留1路進(jìn)氣口,內(nèi)部有不銹鋼導(dǎo)氣管,可將氣體導(dǎo)入加熱區(qū)位置。該設(shè)備適用于高校研究所以及研發(fā)型企業(yè)使用。


二 設(shè)備參數(shù):

額定功率:3KW(加熱爐膛)

額定電壓:AC 220V  50/60HZ 

最高溫度:1200℃

持續(xù)工作溫度:≤1100℃

推薦升溫速率:≤10℃/min

爐管尺寸:高純石英管 Φ100*1650mm

加熱區(qū)長度:440mm

熱電偶類型:K型熱電偶

控溫精度:±1℃

控溫方式:10寸觸液晶屏觸摸控制,模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

爐體尺寸: 220*750*1450mm(長*寬*高)

加熱元件: 電阻絲

設(shè)備凈重:約300Kg


END

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銷售熱線:0551-65146333

售后熱線:0551-65148123

投訴專線:18009693519

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