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安徽貝意克設備技術有限公司

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產品推薦 | BTF-1400C-II-OP-R多功能回轉CVD系統

產品推薦 | BTF-1400C-II-OP-R多功能回轉CVD系統
貝意克  2023-03-28  |  閱讀:827

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導語

BTF-1400C-II-OP-R多功能回轉CVD系統是貝意克推出的一款代表產品。設備采用集成化設計,兩個溫區(qū)可獨立控制,最高使用溫度可達1400度,廣泛應用于科研院所和高端制造領域。

一設備特點:

1、此款設備提供一個雙溫區(qū)的溫場,兩個溫區(qū)可獨立控制。

2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理,爐膛可開啟。

3、加熱元件采用硅碳棒,最高使用溫度可以達到1400度,使用壽命長,溫場流場均勻。

4、采用觸摸屏和工控電腦自動控制,參數設置和操作直觀方便,參數自動記錄保持。

5、設備集成化設計、以及集成化管理,美觀方便。

二設備組成:

1、加熱系統:

該加熱系統的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研溫,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統。

高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環(huán)負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節(jié)儀表控員的干預,可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經驗的要求。

2、爐管轉動系統:

爐管轉動系統可以讓爐管360°勻速轉動,轉速在0-60r/min連續(xù)可調,且能在60r/min轉速下長時間運行。管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻。

3、供氣系統:

供氣系統是一種可控制3種氣體按不同流量進氣的裝置,浮子流量計安裝于密封的可移動機柜內,由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

4、真空系統:

真空系統內部安裝機械泵1臺,電阻真空計1套,并含有配套使用的波紋管,手動擋板閥,卡箍等連接部件。

三加熱主體設備技術參數:

1、石英腔體尺寸:中間外徑?100* 端頭外徑?60*長度1400mm

2、剛玉腔體尺寸:φ60*1400mm

3、爐膛保溫材料:氧化鋁纖維

4、表面溫度:≤60℃

5、加熱元件:硅碳棒

6、加熱區(qū)數量:2區(qū),獨立控溫

7、加熱區(qū)長度:300+300mm

8、最高溫度:1400℃

9、長時間使用溫度:≤1300℃

10、控溫精度:±1℃

11、建議升溫速率:≤10℃/min

12、熱電偶型號:S型

13、金屬密封法蘭:磁流體密封法蘭

14、控制器:可編程控溫儀表,PID調節(jié),升、降保溫全自動

15、控溫方式:人機界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,數字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實現雙控,采用模糊型PID控制。

16、無紙記錄:內置存儲記錄運行工藝數據,外接USB接口可以電腦連接一鍵拷貝數據。

17、設備功率:10KW

18、設備工作電源:AC220V(L+N+PE)2P 63A空開 3x6mm2

四3路供氣系統參數:

連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

流量計類型:浮子流量計(3個),量程可選

最大壓力:3MPa

接口:Φ6

內外雙拋不銹鋼管:Φ6

壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥:Φ6卡套接頭

五真空系統參數:

真空系統內部安裝機械泵1臺,電阻真空計1套,并含有配套使用的波紋管,手動擋板閥,卡箍等連接部件。

1、技術參數:

空氣相對濕度:≤85%

工作電電壓:220V±10% 50~60HZ

功率:1千瓦

抽氣速率:10m3/h

實驗真空度:5.0X10-1Pa

容油量:1.1L

進氣口口徑:KF25

排氣口口徑:KF25

轉速:1450rpm

噪音:50dB

2、真空計參數:

配用規(guī)管:ZJ-52T電阻規(guī)

測量范圍:10 5 ~10 -1 Pa

測量路數:1路

控制范圍:5×10 3 ~5×10 -1 Pa

控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載

電源:90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz

功耗:20W

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