中國(guó)粉體網(wǎng)訊 5月28日,無(wú)錫光未半導(dǎo)體材料有限公司超高純石英砂項(xiàng)目在中歐產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新區(qū)正式量產(chǎn)。
來(lái)源:梅里聚焦
無(wú)錫光未公司計(jì)劃總投資2億元,建成3條超高純石英砂產(chǎn)線,2024年7月啟動(dòng)建設(shè),2025年5月首條產(chǎn)線建成并投產(chǎn),預(yù)計(jì)年產(chǎn)量700噸、年銷(xiāo)售3億元。項(xiàng)目整體完成后,年產(chǎn)量增至2700噸,年銷(xiāo)售超9億元。
合成石英砂具有高硬度、高耐磨性和化學(xué)穩(wěn)定性等良好的物理和化學(xué)性質(zhì),其物理性質(zhì)與天然石英砂相似,具有良好的耐高溫性能、耐磨損性能、耐腐蝕性能、耐壓強(qiáng)度高、絕緣性能強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。合成石英砂的生產(chǎn)不依賴(lài)于天然石英礦產(chǎn),可以通過(guò)化學(xué)合成法制備,其技術(shù)路線包括氣相合成法、化學(xué)沉淀法、溶膠-凝膠法、四氯化硅液相水解法等,因?yàn)榧兌雀、光學(xué)性能更良等特性,除了在高端光學(xué)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用以外,也符合半導(dǎo)體制程對(duì)石英制品高純、無(wú)污染、耐高溫的要求。
據(jù)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公布的無(wú)錫光未半導(dǎo)體材料有限公司一種超高純度7N級(jí)合成石英砂制備工藝專(zhuān)利顯示,該公司合成石英砂的制備工藝流程為如下:
溶液制備與反應(yīng):在一體化節(jié)能處理設(shè)備中加入乙醇和四乙氧基硅烷,將四乙氧基硅烷與乙醇混合,通過(guò)一體化節(jié)能制備裝置將其攪拌均勻;在攪拌過(guò)程中,緩慢加入水和鹽酸進(jìn)行水解和縮合反應(yīng),并生成硅酸鹽;隨著水解縮合反應(yīng)的進(jìn)行,硅酸鹽開(kāi)始凝膠化,形成溶膠,隨著反應(yīng)的進(jìn)行,溶液的黏度逐漸增加,最終形成凝膠網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu);
熱處理:凝膠在完成凝膠化后,通過(guò)一體化節(jié)能制備裝置對(duì)凝膠進(jìn)行干燥處理,去除凝膠中的水分;隨后對(duì)干燥后的凝膠進(jìn)行高溫煅燒,在煅燒過(guò)程中,二氧化硅凝膠會(huì)轉(zhuǎn)化為致密的二氧化硅材料,制得高純度的二氧化硅;
純化處理:通過(guò)一體化節(jié)能制備裝置對(duì)二氧化硅進(jìn)行酸洗、水洗、中和以及干燥處理;
高溫?zé)Y(jié):在真空環(huán)境下對(duì)二氧化硅進(jìn)行高溫?zé)Y(jié),進(jìn)一步提高石英砂的純度,燒結(jié)后的二氧化硅通過(guò)粉碎和篩分工藝來(lái)控制顆粒的粒度和形態(tài),得到超高純度7N級(jí)的合成石英砂。
來(lái)源:無(wú)錫日?qǐng)?bào)
據(jù)了解,高純合成石英砂長(zhǎng)期被日本三菱化學(xué)壟斷,雖然國(guó)內(nèi)多家企業(yè)早前開(kāi)始涉足合成石英砂領(lǐng)域,積極布局并拓展相關(guān)技術(shù),但受限于合成成本、設(shè)備材質(zhì)、生產(chǎn)周期、產(chǎn)品穩(wěn)定性等因素,國(guó)內(nèi)合成石英砂多處于研發(fā)、小試、中試階段,未見(jiàn)大批量規(guī);a(chǎn)。
無(wú)錫光未公司積極引進(jìn)國(guó)際先進(jìn)技術(shù),高薪聘請(qǐng)國(guó)外專(zhuān)家團(tuán)隊(duì),成功掌握超高純合成工藝與雜質(zhì)控制工藝,此次公司超高純石英砂量產(chǎn)成功實(shí)現(xiàn)從實(shí)驗(yàn)室規(guī)模到工業(yè)規(guī)模的跨越,產(chǎn)品純度達(dá)到7N級(jí)。
參考來(lái)源:梅里聚焦、無(wú)錫日?qǐng)?bào)、無(wú)錫市數(shù)據(jù)局
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