中國(guó)粉體網(wǎng)訊 2025年4月16日，由中國(guó)粉體網(wǎng)主辦的“2025第二屆高端研磨拋光材料技術(shù)大會(huì)”在河南鄭州天地麗笙酒店成功召開(kāi)！本屆大會(huì)匯聚了500余名產(chǎn)業(yè)鏈各個(gè)環(huán)節(jié)的專(zhuān)家學(xué)者、技術(shù)人員、企業(yè)界代表，圍繞高端研磨拋光材料與技術(shù)、研磨拋光裝備及應(yīng)用等進(jìn)行了探討交流，共同展望了行業(yè)未來(lái)發(fā)展。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
會(huì)議現(xiàn)場(chǎng)
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
中國(guó)粉體網(wǎng)會(huì)展事業(yè)部總經(jīng)理孔德宇先生主持開(kāi)幕式
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
上海大學(xué)施利毅教授主持大會(huì)報(bào)告環(huán)節(jié)（上午）
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
華僑大學(xué)制造工程研究院陸靜教授主持大會(huì)報(bào)告環(huán)節(jié)（下午）
本屆大會(huì)，河南工業(yè)大學(xué)栗正新教授、大連理工大學(xué)高尚教授、華僑大學(xué)陸靜教授、上海大學(xué)施利毅教授、河北工業(yè)大學(xué)副研究員何彥剛等16位業(yè)內(nèi)專(zhuān)家學(xué)者、技術(shù)大咖應(yīng)邀蒞臨大會(huì)現(xiàn)場(chǎng)并作了精彩的演講報(bào)告。
大會(huì)精彩報(bào)告
栗正新教授對(duì)磨料磨具行業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀做了簡(jiǎn)單介紹，隨后對(duì)結(jié)合劑、磨具成型技術(shù)、第四相（填料）等方面對(duì)磨料磨具技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)做了詳盡介紹。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
河南工業(yè)大學(xué)栗正新教授作《磨料磨具技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢(shì)》報(bào)告
高尚教授在報(bào)告中針對(duì)傳統(tǒng)金剛石砂輪減薄磨削晶圓時(shí)超硬磨粒純機(jī)械作用導(dǎo)致的表面/亞表面損傷問(wèn)題，提出了一種采用軟磨料彈性砂輪、通過(guò)機(jī)械化學(xué)復(fù)合作用實(shí)現(xiàn)晶圓超低損傷減薄加工的新工藝，介紹了機(jī)械化學(xué)復(fù)合作用下晶圓超低損傷磨削表面的形成機(jī)理，并開(kāi)發(fā)了高效超低損傷減薄晶圓的軟磨料彈性砂輪及其加工工藝。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
大連理工大學(xué)高尚教授作《面向晶圓減薄加工的軟磨料彈性砂輪超低損傷磨拋新工藝》報(bào)告
王向華首先提到了CMP拋光材料SEM表征的必要性，隨后對(duì)蔡司公司掃描電鏡的三大技術(shù)特色及應(yīng)用優(yōu)勢(shì)做了詳細(xì)介紹。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
卡爾蔡司(上海)管理有限公司資深應(yīng)用專(zhuān)家王向華作《蔡司電鏡在研磨拋光材料中的應(yīng)用》報(bào)告
鐘榮峰經(jīng)理針對(duì)硅溶膠的制備方法及生長(zhǎng)機(jī)理、硅溶膠的性能指標(biāo)對(duì)拋光的影響以及在CMP中的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)與痛點(diǎn)做了詳盡的分析。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
廣東惠爾特納米科技有限公司研發(fā)經(jīng)理鐘榮峰作《新型納米二氧化硅磨料在CMP中的應(yīng)用》報(bào)告
在研磨拋光環(huán)節(jié)，磨料的粒度及形貌對(duì)拋光效果有十分重要的影響。任旭經(jīng)理重點(diǎn)介紹了研磨拋光材料中磨料粒度/粒形檢測(cè)方法及影響因素。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
丹東百特儀器有限公司銷(xiāo)售經(jīng)理任旭作《研磨拋光材料粒度/粒形檢測(cè)方法及影響因素》報(bào)告
劉添彪總經(jīng)理（張佳慧代）強(qiáng)調(diào)了金剛石量子是潛在的超光滑拋光材料，隨后對(duì)相關(guān)產(chǎn)品的制備及難點(diǎn)進(jìn)行了闡述，并對(duì)公司、經(jīng)營(yíng)計(jì)劃，研發(fā)實(shí)力及取得的研究成果做了詳細(xì)介紹。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
蘇州極鉆納米科技有限公司劉添彪總經(jīng)理（張佳慧代）作《超納金剛石光罩精拋液材料與算法研發(fā)產(chǎn)業(yè)化》報(bào)告
施利毅教授介紹了精準(zhǔn)調(diào)控納米a-氧化鋁、納米氧化硅、納米氧化鋯、納米氧化鈰等納米磨料的關(guān)鍵技術(shù)及技術(shù)難點(diǎn)，并對(duì)其課題組在相關(guān)領(lǐng)域取得的進(jìn)展做了闡述。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
上海大學(xué)施利毅教授作《精準(zhǔn)調(diào)控納米粉體制備技術(shù)開(kāi)發(fā)》報(bào)告
磨粒在拋光過(guò)程中與工件和磨具直接接觸，在工件表面起到微量去除的作用，磨粒的選擇是否正確將直接關(guān)系到材料的去除效果。何彥剛副研究員針對(duì)集成電路化學(xué)機(jī)械平坦化工藝對(duì)氧化硅、氧化鈰、氧化鋁等“納米磨料”的具體要求展開(kāi)了詳細(xì)介紹。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
河北工業(yè)大學(xué)/微電子技術(shù)與材料研究所何彥剛副研究員作《納米磨料在集成電路化學(xué)機(jī)械平坦化過(guò)程中的應(yīng)用》報(bào)告
以二氧化鈰為核心的稀土拋光磨料因硬度適中、反應(yīng)活性高、選擇性高而表現(xiàn)出具有更高的切削速度、拋光精度和表面光潔度，在半導(dǎo)體、光學(xué)元件、液晶顯示屏等高端制造領(lǐng)域不可替代。隨著應(yīng)用需求的升級(jí)，相匹配的稀土拋光材料正向高端化發(fā)展。高級(jí)工程師李曉佩分享了鈰基稀土拋光材料設(shè)計(jì)合成以及拋光性能調(diào)控等重要知識(shí)。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
包頭稀土研究院高級(jí)工程師李曉佩作《鈰基稀土拋光材料設(shè)計(jì)合成及拋光性能調(diào)控》報(bào)告
尹學(xué)彬經(jīng)理則對(duì)新型生物基3D纖維素凝膠在研磨拋光領(lǐng)域的應(yīng)用做了詳細(xì)闡述，使我們了解到：新型生物基 3D纖維素凝膠以其獨(dú)特的空間網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，擁有高比表面積及空間位阻，兼具微米及納米結(jié)構(gòu)的性能，可有效承托并包覆研磨顆粒，形成可靠的空間穩(wěn)定結(jié)構(gòu)，防止沉降、團(tuán)聚及板結(jié)。另外，研磨顆粒吸附在3D纖維素凝膠表面，可提高參與研磨的有效顆粒的數(shù)量，從而提升拋光效率。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
北京格林微納科技有限公司研發(fā)經(jīng)理尹學(xué)彬作《新型生物基3D纖維素凝膠在研磨拋光領(lǐng)域的應(yīng)用》報(bào)告
陸靜教授提出了一種CuO預(yù)處理輔助金屬砂輪磨削結(jié)合紫外光芬頓復(fù)合體系拋光的新技術(shù)，通過(guò)CuO預(yù)處理，顯著提升了金屬砂輪對(duì)多晶金剛石表面的磨削效率，有效解決了傳統(tǒng)磨削方法中加工效率與表面質(zhì)量難以兼顧的瓶頸問(wèn)題。進(jìn)一步結(jié)合紫外光芬頓復(fù)合體系拋光技術(shù)，利用紫外光催化作用及芬頓反應(yīng)生成的強(qiáng)氧化性羥基自由基，實(shí)現(xiàn)了多晶金剛石表面的高效化學(xué)機(jī)械拋光。該復(fù)合體系顯著降低了表面粗糙度，最終實(shí)現(xiàn)了磨拋一體化加工，為多晶金剛石晶圓的超精密加工提供了一種高效的新技術(shù)路線。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
華僑大學(xué)制造工程研究院陸靜教授作《多晶金剛石晶圓磨拋加工技術(shù)研究進(jìn)展》報(bào)告
針對(duì)金剛石研磨墊市場(chǎng)需求，趙明恩綜述了金剛石研磨墊精密成型方法，分享了國(guó)內(nèi)外主流金剛石研磨墊產(chǎn)品在多應(yīng)用場(chǎng)景下的加工性能，對(duì)金剛石研磨墊的應(yīng)用領(lǐng)域拓展起到良好的指導(dǎo)作用。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司工程師趙明恩作《金剛石研磨墊應(yīng)用研究》報(bào)告
超細(xì)金剛石憑借其10級(jí)莫氏硬度、優(yōu)異的耐磨性及化學(xué)穩(wěn)定性，成為突破第三代半導(dǎo)體材料加工瓶頸的關(guān)鍵。秦景霞（肖驥代）在報(bào)告中展示了E6憑借70余年的合成金剛石研發(fā)經(jīng)驗(yàn)推出的突破性的 MicronTM UFD™ 超細(xì)金剛石解決方案，可持續(xù)推動(dòng)半導(dǎo)體制造工藝革新。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
元素六亞洲戰(zhàn)略業(yè)務(wù)總監(jiān)秦景霞（肖驥代）作《Element Six（E6） 超細(xì)金剛石材料助力半導(dǎo)體精密加工升級(jí)》報(bào)告
熊玉朋副教授圍繞大尺寸單晶氮化鋁的加工難題，介紹了基于化學(xué)機(jī)械拋光的大尺寸氮化鋁晶圓表面超精密加工的創(chuàng)新解決方案。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
國(guó)防科技大學(xué)智能科學(xué)學(xué)院熊玉朋副教授作《大尺寸氮化鋁晶圓表面超精密加工技術(shù)》報(bào)告
氧化鋁拋光液具備較高的研磨拋光效率從而備受關(guān)注，紀(jì)發(fā)明副總經(jīng)理詳細(xì)介紹了氧化鋁拋光液的制備工藝，并分享了不同的應(yīng)用案例。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
無(wú)錫云嶺半導(dǎo)體有限公司副總經(jīng)理紀(jì)發(fā)明作《半導(dǎo)體材料拋光用氧化鋁拋光液的制備和應(yīng)用》報(bào)告
陳瑋教授在報(bào)告中指出，采用多元醇及有機(jī)酸為基礎(chǔ)承載物，添加穩(wěn)定劑、分散劑、賦形劑等不同功能性添加劑，通過(guò)納米乳化技術(shù)，制備出用途廣泛的水性拋光膏母液，在這種母液中，添加金剛石、片狀氧化鋁、類(lèi)球形氧化鋁等磨料顆粒，可以制備出適合于氧化鋁陶瓷、氮化硅陶瓷、不銹鋼等材料精細(xì)拋光的拋光液。這種方法制備的水性拋光液具有用途廣泛、適應(yīng)性強(qiáng)、制備方法簡(jiǎn)單實(shí)用等優(yōu)點(diǎn)。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
新鄉(xiāng)學(xué)院陳瑋教授作《水性拋光膏的制備與應(yīng)用》報(bào)告
展覽現(xiàn)場(chǎng)精彩瞬間
大會(huì)期間，高端研磨拋光行業(yè)的三十余家企業(yè)展示了各自的先進(jìn)產(chǎn)品，參會(huì)嘉賓參觀了企業(yè)展臺(tái)，并與企業(yè)精英、專(zhuān)家進(jìn)行了面對(duì)面地交流。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
展示區(qū)人頭攢動(dòng)
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
與會(huì)代表參觀企業(yè)展臺(tái)
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
與會(huì)代表面對(duì)面交流
答謝晚宴
4月16日晚，中國(guó)粉體網(wǎng)舉辦了答謝晚宴，大家匯聚一堂，共同欣賞了精彩的文藝表演并積極參與了抽獎(jiǎng)互動(dòng)節(jié)目�，F(xiàn)場(chǎng)高朋滿座，歡聲笑語(yǔ)。
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
中國(guó)粉體網(wǎng)會(huì)展事業(yè)部總經(jīng)理孔德宇晚宴致辭
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
文藝表演
©Charlie Cao/Cnpowder.com.cn
獲獎(jiǎng)嘉賓合影
研磨拋光材料是半導(dǎo)體制程中萬(wàn)不可缺的關(guān)鍵材料，但該市場(chǎng)國(guó)產(chǎn)化率仍然不高，整個(gè)行業(yè)正面臨著極為緊迫的國(guó)產(chǎn)替代任務(wù)。本屆大會(huì)通過(guò)匯聚產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)的專(zhuān)家、技術(shù)人員、企業(yè)家，促進(jìn)交流與合作，激發(fā)行業(yè)活力，對(duì)推動(dòng)行業(yè)在高端研磨拋光產(chǎn)品進(jìn)口替代上取得全面突破具有積極的意義。
（中國(guó)粉體網(wǎng)鄭州報(bào)道/山川）
