中國(guó)粉體網(wǎng)訊  近日，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，山東大學(xué)取得一項(xiàng)名為“一種基于芬頓反應(yīng)的堿性氮化鎵拋光液及其制備方法”的專利，能夠有效延長(zhǎng)拋光液的有效時(shí)長(zhǎng)。

作為第三代半導(dǎo)體材料，單晶氮化鎵（GaN）憑借高熱傳導(dǎo)率、低能耗、高電子遷移率等特點(diǎn)具有廣闊的發(fā)展前景，適用于高溫、大功率等極端環(huán)境場(chǎng)合。平坦且無(wú)損的晶片表面是GaN作為半導(dǎo)體元器件襯底材料的必要條件。由于GaN具有機(jī)械硬度高、化學(xué)惰性強(qiáng)等特點(diǎn)，對(duì)其進(jìn)行高效超精密加工的難度較大。化學(xué)機(jī)械拋光（Chemical mechanical polishing, CMP）是目前實(shí)現(xiàn)全區(qū)域平坦化的加工方法之一。

除了使用傳統(tǒng)的具有氧化特性的化學(xué)試劑來(lái)增強(qiáng)CMP拋光液的氧化性之外，人們不斷致力于采用其他的一些新穎的方法增強(qiáng)拋光液氧化活性，從而來(lái)實(shí)現(xiàn)超硬材料或惰性材料的表面平坦化加工，如芬頓反應(yīng)。

山東大學(xué)本次發(fā)明屬于化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種基于芬頓反應(yīng)的堿性氮化鎵拋光液及其制備方法。發(fā)明提供的堿性氮化鎵拋光液其組成包括過(guò)氧化氫、二氧化硅磨料、碳酸氫鈉、鐵鹽、分散劑、穩(wěn)定劑、絡(luò)合劑和去離子水。本發(fā)明通過(guò)鐵系離子絡(luò)合物催化過(guò)氧化氫可以將芬頓反應(yīng)的適用范圍拓寬到堿性條件，使用穩(wěn)定劑可以促進(jìn)三價(jià)鐵離子向亞鐵離子的轉(zhuǎn)化，增強(qiáng)亞鐵離子的催化作用，延長(zhǎng)拋光液的有效時(shí)長(zhǎng)。該發(fā)明提供的拋光液對(duì)環(huán)境友好，不腐蝕加工設(shè)備，成本低，性質(zhì)穩(wěn)定，無(wú)需外加輔助設(shè)備操作更方便，可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定存儲(chǔ)。

來(lái)源：國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

山東大學(xué)是一所歷史悠久、學(xué)科齊全、實(shí)力雄厚、特色鮮明的教育部直屬重點(diǎn)綜合性大學(xué)，在國(guó)內(nèi)外具有重要影響，1997年進(jìn)入國(guó)家“211工程”建設(shè)序列，2001年被確定為國(guó)家“985工程”重點(diǎn)建設(shè)的高水平研究型大學(xué)，2017年邁入世界一流大學(xué)建設(shè)高校行列。山東大學(xué)是中國(guó)學(xué)科門類最齊全的大學(xué)之一，在綜合性大學(xué)中具有代表性，建有全國(guó)（國(guó)家）重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室7個(gè)，教育部人文社會(huì)科學(xué)重點(diǎn)研究基地4個(gè)，其他人文社科類國(guó)家級(jí)科研平臺(tái)5個(gè)。擁有山東大學(xué)齊魯醫(yī)院等4家直屬附屬醫(yī)院。與38個(gè)國(guó)家和地區(qū)的200余所學(xué)校簽署了校際合作協(xié)議。

參考來(lái)源：

[1] 鄭世坤，電化學(xué)芬頓反應(yīng)輔助氮化鎵化學(xué)機(jī)械拋光

[2] 山東大學(xué)官網(wǎng)、國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局、半導(dǎo)體材料與工藝

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/山林）

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