中國(guó)粉體網(wǎng)訊  3月26日，上海韜盛電子科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱"韜盛科技"）正式宣布完成數(shù)億元C輪融資。本次融資將重點(diǎn)投入兩個(gè)方向：一方面，用于擴(kuò)大半導(dǎo)體超大尺寸測(cè)試座和MEMS探針卡等成熟產(chǎn)品的產(chǎn)能；另一方面，大力投入2.5D DRAM /3D DUTLET MEMS探針卡和LTCC超大陶瓷基板等新產(chǎn)品的研發(fā)與生產(chǎn)。

探針卡：晶圓測(cè)試設(shè)備的“指尖”

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的制造流程上，主要可分成IC設(shè)計(jì)、晶圓制程、晶圓測(cè)試及晶圓封裝四大步驟。其中晶圓測(cè)試環(huán)節(jié)中，涉及到大量探針卡的使用，它們對(duì)芯片封裝前的電學(xué)性能測(cè)量非常重要。在測(cè)試過(guò)程中，測(cè)試機(jī)臺(tái)并不能直接對(duì)待測(cè)晶圓進(jìn)行量測(cè)，而是透過(guò)探針卡（Probe Card）中的探針（Probe）與晶圓上的焊墊（Pad）或凸塊（Bump）接觸而構(gòu)成電性接觸，再將經(jīng)由探針?biāo)鶞y(cè)得的測(cè)試信號(hào)送往自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)做分析與判斷，因此可取得晶圓上的每顆晶粒的電性特性測(cè)試結(jié)果。

探針卡是半導(dǎo)體晶圓測(cè)試過(guò)程中需要使用的重要零部件，被認(rèn)為是測(cè)試設(shè)備的“指尖”。對(duì)于一個(gè)成熟的產(chǎn)品來(lái)說(shuō)，當(dāng)產(chǎn)量增長(zhǎng)時(shí)，測(cè)試需求也會(huì)增加，而對(duì)探針卡的消耗量也將成倍增長(zhǎng)。近年來(lái)在半導(dǎo)體測(cè)試市場(chǎng)快速發(fā)展的帶動(dòng)下，全球探針卡行業(yè)也得到了快速的發(fā)展。據(jù)行業(yè)預(yù)測(cè)，2025年全球探針卡市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到27.41億美元，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到32.83億元，其中MEMS探針卡占比達(dá)60%左右。

在整個(gè)探針卡中，空間轉(zhuǎn)換基體（STF substrates）是其中的核心組件。隨著科技技術(shù)的成熟與提升，芯片功能逐漸增加，設(shè)計(jì)逐漸復(fù)雜，芯片輸入/輸出針腳數(shù)也持續(xù)增加。為了降低生產(chǎn)成本，晶圓尺寸也不斷提升(如12英寸晶圓)，因此大面積偵測(cè)用的探針卡需求逐漸增多。此類大面積的探針卡，由于探針接觸點(diǎn)的間距小，結(jié)構(gòu)中通常會(huì)利用具有線路的多層基板（如多層陶瓷基板）設(shè)置于多個(gè)探針與電路板間，作為線路的空間轉(zhuǎn)換裝置。

與其他多層基板技術(shù)相比，LTCC易于實(shí)現(xiàn)更多的布線層數(shù)和提高組裝密度；便于嵌入元件，增加裝配密度，實(shí)現(xiàn)多功能；具有良好的高頻特性和高速傳輸特性；可以形成多種結(jié)構(gòu)的腔體，實(shí)現(xiàn)性能優(yōu)異的多功能微波MCM；它與薄膜多層布線技術(shù)具有良好的兼容性，二者的結(jié)合可以實(shí)現(xiàn)裝配密度更高、性能更好的混合多層基板。

LTCC三維基板技術(shù)是目前技術(shù)含量最高，產(chǎn)品品類最多和最復(fù)雜的電子陶瓷基板。作為探針卡核心組件的多層共燒陶瓷轉(zhuǎn)接基板，其應(yīng)用需求隨探針卡行業(yè)的快速發(fā)展而急劇上升。因此，探索和研發(fā)滿足高性能轉(zhuǎn)接基板要求的陶瓷材料具有顯著的現(xiàn)實(shí)意義和戰(zhàn)略價(jià)值。

關(guān)于韜盛科技

韜盛科技成立于2006年，是國(guó)內(nèi)一家專業(yè)測(cè)試接口產(chǎn)品及方案的提供者之一。韜盛科技主要產(chǎn)品有兩大板塊，一是用于成品測(cè)試（FT測(cè)試）的半導(dǎo)體測(cè)試插座，二是用于晶圓測(cè)試（CP測(cè)試）的探針卡。在芯片成品測(cè)試插座領(lǐng)域，韜盛科技國(guó)內(nèi)市占率第一，是該領(lǐng)域公認(rèn)的國(guó)產(chǎn)龍頭；在探針卡領(lǐng)域，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)長(zhǎng)期以來(lái)被FormFactor等外國(guó)廠商主導(dǎo)，韜盛科技作為國(guó)產(chǎn)廠商，歷經(jīng)萬(wàn)難突破了MEMS針自制工藝，擁有了MEMS針自制產(chǎn)線，打破了境外壟斷。

一直以來(lái)，韜盛科技始終專注于半導(dǎo)體測(cè)試解決方案，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于AI、車規(guī)、航空航天及智能終端等領(lǐng)域的芯片測(cè)試。當(dāng)前，隨著chiplet技術(shù)普及和3D封裝滲透率提升，半導(dǎo)體測(cè)試環(huán)節(jié)正成為保障產(chǎn)業(yè)鏈安全的核心節(jié)點(diǎn)。

來(lái)源：韜盛科技官網(wǎng)/官微、安徽省鐵路發(fā)展基金、鉛筆道

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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