半導(dǎo)體行業(yè)作為現(xiàn)代科技的基石，被譽(yù)為“工業(yè)糧食”，盡管會(huì)經(jīng)歷周期性波動(dòng)，但長(zhǎng)期規(guī)模呈穩(wěn)步上升趨勢(shì)。據(jù)WSTS預(yù)測(cè)，2024年全球半導(dǎo)體市場(chǎng)將同比增長(zhǎng)19.0%，達(dá)到6270億美元。集成電路產(chǎn)業(yè)鏈涵蓋設(shè)備、材料、設(shè)計(jì)、制造及封測(cè)等環(huán)節(jié)，其中設(shè)計(jì)和制造是利潤(rùn)核心。行業(yè)特點(diǎn)包括硅周期與經(jīng)濟(jì)周期的疊加、下游應(yīng)用的持續(xù)迭代以及“牛鞭效應(yīng)”導(dǎo)致的供需失衡。技術(shù)發(fā)展動(dòng)力主要來(lái)自“摩爾定律”和“安迪-比爾定律”，同時(shí)政策支持也是重要的外部驅(qū)動(dòng)力，如中國(guó)的大基金扶持政策。
高純氧化鋁粉體因其良好的化學(xué)穩(wěn)定性、耐高溫、強(qiáng)度大、絕緣性能好且耐磨性好，而被普遍應(yīng)用在電子、催化、半導(dǎo)體和航空航天等領(lǐng)域。
例如，在半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備中，刻蝕機(jī)腔室材料作為晶圓污染的主要來(lái)源，等離子刻蝕對(duì)其影響程度決定了晶圓的良率、質(zhì)量、刻蝕工藝的穩(wěn)定性等等。因此，研究和開(kāi)發(fā)出一種極其耐刻蝕腔體材料成為半導(dǎo)體集成產(chǎn)業(yè)以及等離子刻蝕技術(shù)中一項(xiàng)極具挑戰(zhàn)的任務(wù)。當(dāng)前，主要采用高純Al2O3涂層或Al2O3陶瓷作為刻蝕腔體和腔體內(nèi)部件的防護(hù)材料。除了腔體以外，等離子體設(shè)備的氣體噴嘴，氣體分配盤(pán)和固定晶圓的固定環(huán)等也需用到高純氧化鋁陶瓷。再例如在晶圓拋光工藝中，氧化鋁陶瓷可被廣泛應(yīng)用于拋光板、拋光磨墊校正平臺(tái)、真空吸盤(pán)等。
然而，作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要支撐材料之一，對(duì)氧化鋁材料的技術(shù)研發(fā)和突破在我國(guó)仍較薄弱，國(guó)產(chǎn)高端氧化鋁材料市場(chǎng)占有率僅有 3%-5%。圣華特瓷（北京）科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“圣華特瓷”）自成立之初就投入大量資金、人力對(duì)a相高純納米氧化鋁粉體進(jìn)行研發(fā)，致力于解決我國(guó)在氧化鋁新材料領(lǐng)域的“卡脖子”問(wèn)題。
目前，圣華特瓷已實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)各類(lèi)高純度納米級(jí)a-氧化鋁粉體產(chǎn)品超300噸，建設(shè)研發(fā)中心1個(gè)，生產(chǎn)基地2個(gè)。公司產(chǎn)品已應(yīng)用于半導(dǎo)體CMP拋光、陶瓷靜電卡盤(pán)制造、陶瓷電子基板制造、復(fù)合材料制造等領(lǐng)域，產(chǎn)品品質(zhì)獲得國(guó)內(nèi)多家相關(guān)領(lǐng)域龍頭企業(yè)與科研機(jī)構(gòu)認(rèn)可。
圣華特瓷可按客戶(hù)需求生產(chǎn)各種規(guī)格指標(biāo)產(chǎn)品，并確保質(zhì)量過(guò)硬，供貨穩(wěn)定。
•SHTC-201高純納米級(jí)氧化鋁微粉
•SHTC-301高純納米級(jí)氧化鋁微粉
【產(chǎn)品特性】
* MgO為添加劑，不作為Al2O3中的雜質(zhì)計(jì)算。
**未添加助焊劑，樣品在29.4MPa(300kg/cm2),1100℃下燒結(jié)。
•低溫?zé)Y(jié)高強(qiáng)度氧化鋁粉體
【產(chǎn)品特點(diǎn)】本產(chǎn)品在較低溫度下燒結(jié)即可實(shí)現(xiàn)高強(qiáng)度、高密度，適用于對(duì)產(chǎn)品機(jī)械強(qiáng)度、耐磨性有較高要求的行業(yè)領(lǐng)域。
【適用領(lǐng)域】電子陶瓷基板、半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)件等領(lǐng)域。
•高純納米氧化鋁材料是圣華陶瓷推出的新產(chǎn)品，在半導(dǎo)體行業(yè)中發(fā)揮著重要作用。
【產(chǎn)品特性】
結(jié)語(yǔ)
圣華特瓷深耕納米氧化鋁領(lǐng)域，以自主創(chuàng)新打破技術(shù)壁壘，推出多款高純度、高性能粉體及陶瓷產(chǎn)品，助力半導(dǎo)體設(shè)備與工藝升級(jí)。公司以穩(wěn)定供應(yīng)、定制化服務(wù)及卓越品質(zhì)為基石，誠(chéng)邀產(chǎn)業(yè)鏈伙伴攜手合作，共拓國(guó)產(chǎn)高端材料新篇章！歡迎垂詢(xún)，共創(chuàng)價(jià)值。
參考來(lái)源：
[1] 陳雪誼等.高純氧化鋁粉體可控綠色合成及其吸附性能研究
[2] 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)報(bào)告.大國(guó)博弈下的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)：發(fā)展趨勢(shì)與變革
[3] 粉體網(wǎng).高純氧化鋁陶瓷：四大領(lǐng)域的關(guān)鍵‘瓷’器，盡顯“純凈”魅力
[4] 圣華特瓷（北京）科技有限公司官網(wǎng)、粉體網(wǎng)企業(yè)展臺(tái)
