中國(guó)粉體網(wǎng)訊  2024年12月24日，由中國(guó)粉體網(wǎng)主辦的“2024半導(dǎo)體行業(yè)用金剛石材料技術(shù)大會(huì)”在河南鄭州濱河假日酒店隆重召開(kāi)。會(huì)議期間，我們邀請(qǐng)到多位業(yè)內(nèi)專(zhuān)家學(xué)者做客“對(duì)話”欄目，就金剛石材料在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用進(jìn)展以及技術(shù)現(xiàn)狀進(jìn)行了訪談交流。本期為您分享的是中國(guó)粉體網(wǎng)對(duì)南京大學(xué)修向前教授的專(zhuān)訪。

南京大學(xué)修向前教授

粉體網(wǎng)：修教授，碳化硅切片加工技術(shù)主要包括哪些？

修教授：碳化硅的硬度僅次于金剛石，屬于高硬脆性材料，將生長(zhǎng)出的晶體切成片狀的切割過(guò)程耗時(shí)久，易裂片。作為碳化硅單晶加工過(guò)程的第一道工序，切片的性能決定了后續(xù)研磨、拋光、薄化等加工水平，切片加工易在晶片表面和亞表面產(chǎn)生裂紋，增加晶片的破片率和制造成本，因此控制晶片切片表層裂紋損傷，對(duì)推動(dòng)碳化硅器件制造技術(shù)的發(fā)展具有重要意義。目前報(bào)道的碳化硅切片加工技術(shù)主要包括固結(jié)、游離磨料切片、激光切割、冷分離和電火花切片等，其中往復(fù)式金剛石固結(jié)磨料多線切割是最常應(yīng)用于加工碳化硅單晶的方法。當(dāng)晶錠尺寸達(dá)到8英寸及以上時(shí)，對(duì)線切割設(shè)備的要求很高，成本也很高，而效率太低，亟需發(fā)展低成本、低損耗、高效率的新型切割技術(shù)。

粉體網(wǎng)：激光切片技術(shù)對(duì)比傳統(tǒng)多線切割技術(shù)有哪些優(yōu)點(diǎn)？

修教授：傳統(tǒng)線切割工藝，需要將碳化硅晶錠沿著一定方向切割成厚度幾百微米的薄片，通過(guò)金剛石研磨液進(jìn)行研磨，去除刀痕及表面亞表面裂紋損傷并達(dá)到所需要的厚度后，再進(jìn)行CMP拋光以實(shí)現(xiàn)全局平坦化，最終清洗得到碳化硅晶圓。由于碳化硅是高硬度脆性材料，切磨拋時(shí)易翹曲開(kāi)裂增加晶片的破片率和制造成本、表界面粗糙度高、污染嚴(yán)重（粉塵、污水等）等，且多線切割加工周期長(zhǎng)、產(chǎn)率低。據(jù)測(cè)算，傳統(tǒng)的多線切割方法對(duì)整體材料利用率僅有50%，拋光研磨后，切損耗比例則高達(dá)75%。國(guó)外早期生產(chǎn)統(tǒng)計(jì)顯示，24小時(shí)連續(xù)并行生產(chǎn)，10000片生產(chǎn)時(shí)間約273天，耗時(shí)較長(zhǎng)。

目前國(guó)內(nèi)碳化硅長(zhǎng)晶企業(yè)多采用“如何增產(chǎn)”、大幅提高長(zhǎng)晶爐數(shù)量，其實(shí)在長(zhǎng)晶技術(shù)未完全成熟、良率較低的情況下，更應(yīng)該考慮“如何節(jié)約”。采用激光切片設(shè)備可以大大的降低損耗，提升產(chǎn)率。據(jù)測(cè)算，以單個(gè)20毫米SiC晶錠為例，采用線鋸可生產(chǎn)30片350um的晶圓，而用激光切片技術(shù)可生產(chǎn)多達(dá)50片以上晶圓。同時(shí)，由于激光切片生產(chǎn)的晶圓的幾何特性更好，因此單片晶圓厚度可以減少到200um，這就進(jìn)一步增加了晶圓數(shù)量，單個(gè)20毫米SiC晶錠可以生產(chǎn)80多片晶圓。傳統(tǒng)的多線切割技術(shù)在6英寸及以下尺寸的碳化硅獲得廣泛應(yīng)用，而8英寸要切10-15天，對(duì)設(shè)備要求很高，成本也很高，而效率太低。在這種現(xiàn)實(shí)情況下，大尺寸激光切片的技術(shù)優(yōu)勢(shì)就顯現(xiàn)出來(lái)，將成為未來(lái)8英寸切割的主流技術(shù)。激光切割8英寸碳化硅晶錠，單片切割時(shí)間可以小于20分鐘/片，而單片切割損耗控制在60um以內(nèi)。

總的來(lái)說(shuō)，相比多線切割技術(shù)，激光切片技術(shù)具有高效快速、高產(chǎn)片率、低材料損耗、清潔等優(yōu)勢(shì)。

粉體網(wǎng)：碳化硅激光切割技術(shù)的主要難點(diǎn)是什么？

修教授：碳化硅激光切割技術(shù)主要流程就是兩步：激光改質(zhì)和晶片分離。

激光改質(zhì)的核心是對(duì)激光光束進(jìn)行整形和優(yōu)化，各種參數(shù)如激光功率、光斑直徑、掃描速度等都會(huì)影響碳化硅燒蝕改質(zhì)以及后續(xù)晶圓分離的效果。改質(zhì)區(qū)幾何尺寸決定了表面粗糙度以及后續(xù)分離難度。高表面粗糙度會(huì)增加后續(xù)研磨的難度以及增大材料損耗。

激光改質(zhì)后晶片分離主要采用剪切力將切割晶片從晶錠上剝離，如冷裂、機(jī)械拉力等，目前國(guó)內(nèi)廠家研發(fā)多采用超聲波換能器利用振動(dòng)進(jìn)行分離，可能會(huì)出現(xiàn)碎片和崩邊等問(wèn)題，從而降低了成品率。

上述兩步對(duì)大多數(shù)研究開(kāi)發(fā)單位來(lái)說(shuō)，應(yīng)該不存在很大的困難。但是，不同長(zhǎng)晶廠家的晶錠因工藝和摻雜不同，晶錠質(zhì)量相互差異較大，或者單一晶錠內(nèi)部摻雜、應(yīng)力不均勻，都會(huì)增加晶錠切片的難度，增加損耗、降低成品率。僅僅通過(guò)各種檢測(cè)方法識(shí)別進(jìn)而進(jìn)行分區(qū)激光掃描切片，對(duì)于提升效率和切片質(zhì)量可能效果不會(huì)很顯著。如何開(kāi)發(fā)創(chuàng)新性方法和技術(shù)，優(yōu)化切片工藝參數(shù)，研制出對(duì)不同廠家不同質(zhì)量晶錠具有普適工藝的激光切片設(shè)備和技術(shù)才是大規(guī)模應(yīng)用的核心。

粉體網(wǎng)：除了碳化硅，激光切片技術(shù)是否可以應(yīng)用于其他半導(dǎo)體材料的切割?

修教授：早期激光切割技術(shù)在各種材料領(lǐng)域都有應(yīng)用，在半導(dǎo)體領(lǐng)域主要是用于芯片晶圓的劃片，目前已擴(kuò)展到大尺寸體單晶的切片。除了碳化硅外，還可以用于高硬度或者脆性材料如金剛石、氮化鎵以及氧化鎵等單晶體材料的切片。南京大學(xué)團(tuán)隊(duì)在這幾種半導(dǎo)體單晶的切片方面都做了大量前期工作，驗(yàn)證了半導(dǎo)體單晶激光切片技術(shù)的可行性和優(yōu)勢(shì)。

粉體網(wǎng)：目前我國(guó)是否有成熟的激光切片設(shè)備產(chǎn)品?目前您對(duì)該設(shè)備的研究開(kāi)發(fā)處于什么階段?

修教授：大尺寸碳化硅激光切片設(shè)備被業(yè)界認(rèn)為是未來(lái)8英寸碳化硅晶錠切片的核心設(shè)備。大尺寸碳化硅晶錠激光切片設(shè)備僅日本能提供，價(jià)格昂貴且對(duì)中國(guó)禁運(yùn)。據(jù)調(diào)研，激光切片/減薄設(shè)備國(guó)內(nèi)需求按線切割數(shù)量以及碳化硅產(chǎn)能規(guī)劃估算可達(dá)1000臺(tái)左右，目前國(guó)內(nèi)大族激光、德龍激光、江蘇通用等公司已經(jīng)投入巨資開(kāi)發(fā)相關(guān)產(chǎn)品，但尚未有商品化國(guó)產(chǎn)成熟設(shè)備進(jìn)入產(chǎn)線應(yīng)用。

南京大學(xué)張榮院士和修向前教授團(tuán)隊(duì)早在2001年就開(kāi)發(fā)了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的氮化鎵襯底的激光剝離技術(shù)，積累了豐富的研究基礎(chǔ)。最近一年，我們將此技術(shù)應(yīng)用于大尺寸碳化硅的激光切割和減薄，已經(jīng)完成原型設(shè)備研制和切片工藝研發(fā)，實(shí)現(xiàn)了4-6英寸半絕緣碳化硅晶圓的切割減薄、6-8英寸導(dǎo)電型碳化硅晶錠的切片。6-8英寸半絕緣碳化硅切片時(shí)間10-15分鐘/片，單片損耗<30um；6-8英寸導(dǎo)電型碳化硅晶錠單片切割時(shí)間14-20分鐘/片，單片損耗<60um，估算產(chǎn)片率可提升50%以上。切片后經(jīng)研磨拋光，碳化硅晶圓的幾何參數(shù)符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，研究結(jié)果也表明激光切片時(shí)其熱效應(yīng)對(duì)于碳化硅應(yīng)力和幾何參數(shù)等沒(méi)有明顯影響。采用該設(shè)備，我們也進(jìn)行了金剛石、氮化鎵和氧化鎵單晶的切片技術(shù)可行性驗(yàn)證研究。

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/喬木）

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